Occasion NIKON i11D #9094100 à vendre en France
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Vendu
ID: 9094100
Taille de la plaquette: 5"
Stepper, 5"
Resolution: 0.35 um
N.A.: 0.63
Exposure light source: i-line
Exposure area: 22 x 22 mm to 17.9 x 25.2 mm
Alignment accuracy: 70 mm.
NIKON i11D wafer stepper est une machine de lithographie haute précision et haute résolution qui répond aux besoins exigeants de l'industrie des semi-conducteurs. Il est principalement utilisé pour la fabrication de puces semi-conductrices avec des caractéristiques extrêmement petites. NIKON I 11 D wafer stepper est alimenté par un étage de précision bi-axe de pointe et est capable de produire des caractéristiques de 6 microns à plusieurs microns de taille. L'optique intégrée sans distorsion permet une qualité d'image maximale avec des aberrations minimales. Cela permet aux fabricants de créer des puces de pointe avec une résolution extrêmement élevée. Le pas de plaquette est conçu pour des applications de lithographie haut de gamme, y compris la production de semi-conducteurs sophistiqués et de dispositifs MEMS. Il comporte 3 champs d'exposition semi-automatiques, 4 expositions distinctes et 20 sous-expositions. Cela permet de fabriquer des structures complexes avec une précision et une flexibilité inégalées. I11D wafer stepper est également conçu avec un haut niveau d'automatisation. Un contrôleur CPU automatisé est utilisé pour faciliter l'alignement des plaquettes en utilisant un champ de vision de 8 cm. Le stepper est capable de mesurer automatiquement l'intervalle entre les puces après traitement. I 11 D dispose également d'un logiciel sophistiqué qui permet de simuler avec précision le processus d'exposition avec un haut degré de précision et de contrôle. Le logiciel est conçu pour optimiser automatiquement les paramètres d'alignement pour chaque plaquette afin d'assurer une performance optimale. La machine est également équipée d'un certain nombre de fonctions de contrôle automatisé des processus, y compris un système de dosimétrie automatisé. Cela aide à s'assurer que la bonne quantité d'exposition est utilisée pour chaque puce. NIKON i11D est facile à utiliser et à entretenir. Le programme d'entretien automatisé contribue à fournir un niveau élevé de soin général et de stabilité, tandis que les mises à niveau fréquentes et la formation approfondie de l'opérateur assurent que la machine est à la pointe de la technologie. La solide équipe de soutien technique fournit une assistance de dépannage et des conseils de traitement. Dans l'ensemble, NIKON I 11 D wafer stepper est un choix idéal pour les applications de lithographie haut de gamme. Il est très précis, automatisé, et emballé de fonctionnalités, et est garanti pour produire des résultats excellents et fiables.
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