Occasion NIKON i12 #293603629 à vendre en France
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NIKON i12 est un pas de plaquette de haute précision utilisé pour la lithographie et le marquage de précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de produire des tailles de caractéristiques sous-microns et des surfaces plates, finement structurées. NIKON I 12 est compatible avec les photomasques souples et durs, il est donc adapté à une variété d'applications. I12 dispose d'un équipement optique puissant qui est utilisé pour projeter un motif sur la plaque de la pièce. Ce système comprend une unité d'alignement, un changeur de masque qui maintient le masque d'origine en position, et un ensemble de lentilles à haute résolution. Les lentilles sont conçues pour focaliser la lumière dans une fine tache à la rétine du masque. Ils fournissent également un alignement sur l'axe, de sorte que le spot est exactement aligné avec la grille réticulaire. I 12 dispose également d'une gamme de fonctionnalités conçues pour maximiser sa précision et sa vitesse. La machine de correction de champ de la plaquette (CFCS), par exemple, compense le wobble dans l'étage rotatif de l'étape de la plaquette. Il existe également un générateur de grille spécialisé, appelé MetraGrid, qui permet aux utilisateurs de générer des motifs avec une précision extraordinaire. NIKON i12 comprend également un outil Advanced Machine Control (AMC), qui fournit un outil de contrôle intuitif et automatisé. Ce modèle est capable d'obtenir une précision d'alignement maximale, ainsi qu'une gamme de fonctions supplémentaires ; par exemple, il peut détecter et corriger automatiquement toute erreur dans le schéma de marquage, ainsi que calculer le temps d'exposition optimal. NIKON I 12 fournit également une précision d'alignement des photomasques allant jusqu'à 0,15 microns. Cela permet des motifs très reproductibles et un contrôle dimensionnel exigeant. De plus, le pas a une fonction de commande moteur multi-axes qui lui permet de naviguer sur la plaquette, permettant un alignement et un enregistrement précis lorsque plusieurs étapes d'exposition sont nécessaires. Cette caractéristique rend également i12 adapté à une exposition multiple et à une lithographie à plusieurs niveaux. Enfin, le I 12 est conçu pour offrir une fiabilité à long terme, et est équipé d'une gamme de fonctions de détection de défauts et de maintenance préventive. Il est également livré avec des services de support en ligne de renom NIKON et une gamme complète d'applications logicielles.
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