Occasion NIKON i12 #9285477 à vendre en France
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Vendu
ID: 9285477
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
Stepper, 8"
UDOF (Spec<0.05 um): 0.4
CD Range (Spec<0.05 um): 0.057
Coma (Spec<5%): 2.85%
Main body
Control rack
Air conditioner
Operation control box
1999 vintage.
NIKON i12 est un pas de plaquette avancé conçu pour les opérations de photolithographie à semi-conducteurs de pointe. Il utilise des composants brevetés d'automatisation calibrée pour atteindre un débit élevé avec un minimum de déchets de matériaux, tout en conservant un contrôle extrêmement précis sur toutes les variables de processus, y compris la position, le temps d'exposition et la concentration. Le pas de plaquette peut être utilisé pour une variété d'applications de fabrication d'appareils et de processus, le tout effectué rapidement et avec précision. NIKON I 12 a un cadre de base propriétaire qui supporte un mouvement très lisse et à faible vibration. L'étage motorisé linéaire à trois axes fournit des mouvements X, Y et Z avec une résolution de 0,01 micron, et peut être réglé indépendamment avec une précision nanométrique en fonction des exigences du procédé. De plus, le cadre de base est doté d'une technologie intégrée d'isolation des vibrations, ce qui permet d'assurer un haut niveau de précision tout au long du processus de photolithographie. I12 utilise une combinaison d'optique avancée et de sources lumineuses puissantes pour obtenir des motifs de haute résolution avec un excellent contraste. Un miroir réglable positionne le champ de projection sur toute la tranche, tandis qu'un nouvel équipement de filtrage d'image minimise les effets de distorsion optique. Le stepper est également équipé d'une variété d'appareils pour compenser les multiples exigences d'exposition, y compris un masque d'image arrière, le contrôle de défocus, l'alignement des décalages de focalisation et la réflectivité réduite de l'arrière-plan. Le système exposé de I 12 a plusieurs caractéristiques pour assurer des niveaux optimaux de productivité. Il est équipé d'un chargeur de plaquettes de niveau plaquette, ce qui permet un chargement rapide et facile de jusqu'à 8 plaquettes simultanément. L'unité est également équipée d'une machine de commande numérique informatisée avancée (CNC) avec contrôle de mouvement qui surveille la performance de l'outil ainsi que les réglages de zone et de sous-zone pour compenser automatiquement les éventuelles imperfections de l'actif. De plus, un modèle de vision de pointe inspecte chaque plaquette pour déceler les défauts avant et après l'ébauche. Dans l'ensemble, NIKON i12 est un pas de plaquette avancé qui est conçu pour fournir des opérations de photolithographie à semi-conducteur avec des performances de marquage très fiables. La technologie d'automatisation calibrée intégrée garantit une excellente résolution, précision et contrôle, et la grande variété de fonctionnalités assurent une production automatisée et rapide des composants de l'appareil.
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