Occasion NIKON i12D #9068880 à vendre en France

NIKON i12D
Fabricant
NIKON
Modèle
i12D
ID: 9068880
Taille de la plaquette: 6"
Stepper, 6" Reticle 5".
NIKON i12D est un pas de plaquette haut de gamme, conçu pour mesurer et visualiser avec précision les caractéristiques critiques des substrats tels que les plaquettes semi-conductrices. I12D dispose d'un équipement optique avancé de canon hybride qui utilise à la fois une lentille de projection i-line haute résolution et une lentille de projection de courte longueur d'onde à faible énergie. Ce système de canon hybride permet à NIKON i12D de visualiser avec précision et rapidité les caractéristiques des sous-microns profonds sur les plaquettes. I12D dispose également d'une unité de positionnement à deux étages de haute précision qui utilise à la fois des paliers à air et des étages X/Y motorisés. Cette machine de positionnement est automatisée et capable d'obtenir des mouvements espacés avec une précision de 10nm pour X/Y et 1 micron pour Z. NIKON i12D dispose également d'un puissant outil d'éclairage constitué d'un strobe LED avec des expositions doubles qui peuvent accueillir presque toutes les applications des images à basse fréquence spatiale à haute résolution nanométrique. I12D dispose d'une large gamme de modes de fonctionnement incluant le mode champ lumineux, le mode champ noir, le mode vue latérale, le mode télécentrique et le mode champ lumineux annulaire. La combinaison de ces modes permet une image précise et rapide des caractéristiques des dispositifs critiques. NIKON i12D dispose également d'un puissant outil de stockage de données appelé Digital Imaging Model (DIS) avec un disque dur de grande capacité capable de stocker jusqu'à 256 Gigaoctets de données. Cela permet de stocker des images de plusieurs séries d'exposition et de les visualiser facilement sur le grand écran LCD. En plus de ses capacités d'imagerie, i12D a beaucoup construit dans des systèmes d'alignement et de contrôle qui permettent l'alignement précis et précis des plaquettes et l'imagerie. Par exemple, NIKON i12D dispose d'un équipement complet de détection de désalignement des wafer (WMD) qui est très précis et fiable. I12D est capable de manipuler presque n'importe quel système et substrat, et est conçu pour répondre aux normes de performance les plus élevées dans l'industrie. Il s'agit d'une solution idéale pour les exigences d'imagerie haute résolution telles que celles du procédé avancé de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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