Occasion NIKON i14 #9036216 à vendre en France
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NIKON i14 est un pas de plaquette haute performance utilisé pour fabriquer des pièces formées avec précision sur une plaquette pour microfabrication. Il est utilisé pour la production par lots à haut rendement avec un degré élevé de répétabilité et d'uniformité. Il a la capacité de manipuler de grands substrats jusqu'à 14 pouces et permet la lithographie sur des substrats jusqu'à 24 pouces. NIKON I 14 utilise une capacité multi-exposition, lui permettant de produire des pièces avec plusieurs niveaux de précision. Il a la capacité de contrôler la dose d'exposition à 0,01 μ m ² avec un degré élevé de précision afin de produire des géométries à l'échelle nanométrique. En outre, i14 a un mode auto-inverse qui peut être déclenché pour inverser le champ d'exposition lors de la lithographie. Il s'agit d'une caractéristique inestimable lorsqu'il s'agit d'un motif de lithographie complexe à plusieurs niveaux. I 14 a des capacités d'imagerie haute résolution avec une intégration de l'optique en champ proche combinée à sa fonctionnalité spin-shift pour une résolution plus élevée. Il peut produire un alignement simultané rapide pour la lithographie spin-shift. De plus, la capacité de rotation permet la production de fonctionnalités complexes dans les composants opto-électroniques pour la fabrication optique et LCD. L'équipement dispose d'un robot 6 axes à grande vitesse capable de se déplacer avec précision et précision dans des espaces confinés. Il comporte un étage de levage qui permet le positionnement de la plaquette de manière sûre et stable. Le système est également livré avec une unité de vision avec la capacité d'aligner avec une précision de 0,1 μ m. La machine est équipée de capacités efficaces de refroidissement de l'air pour assurer un fonctionnement stable du stepper ainsi que réduire le risque de contamination. Il dispose d'un outil de commande avancé qui est capable de contrôler la précision et le temps d'exécution du pas. Avec ces caractéristiques robustes, NIKON i14 est un atout fiable pour divers procédés de fabrication.
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