Occasion NIKON i204 #9229245 à vendre en France
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ID: 9229245
Steppers, parts systems
Main body
Camera lens
Transfer robot
PCB Controller board.
NIKON i204 est un pas de plaquette conçu pour un débit maximum dans un emballage facile à utiliser. Il dispose d'une technologie d'alignement avancée, avec un temps d'alignement de 8 secondes, un équipement de détection de contraste élevé et un système de sélection automatisé des substrats (ASSS). I204 est équipé d'une unité de cartographie à 4 étages hautement configurable, qui assure une uniformité de recouvrement sur les substrats et permet des niveaux plus élevés de précision de placement des motifs. Il présente une accélération maximale de 18m/s2, ce qui le rend capable de permettre un débit élevé lors du traitement de substrats aussi bien grands que petits. La capacité des plaquettes de la machine est capable de manipuler des plaquettes de 150 mm et de 200 mm. Son étage est monté sur un grand cadre pour une stabilité maximale, ce qui donne à l'outil des performances en température supérieures et augmente sa vitesse de traitement. NIKON i204 a un format de débit élevé pour réduire les coûts tout en permettant des performances très précises. L'actif utilise sa technologie de balayage avancée exclusive pour détecter avec précision les motifs et les défauts mineurs. La taille maximale du champ est de 28mm, et chaque modèle est capable d'une résolution inférieure à 0,4µm. L'équipement utilise son logiciel propriétaire NIKON Application System (NAS) pour contrôler l'ensemble de l'unité optique. La machine est capable de stocker jusqu'à huit tâches différentes et peut être mise à jour avec des mises à jour futures. Il permet un réglage manuel pour l'alignement, l'agrandissement et l'épaisseur de la couche. I204 a la capacité de gagner du temps en nettoyant automatiquement le réticule après chaque exposition. Il dispose d'un outil qui peut compenser les changements de température pendant un tir, et d'un outil de purification des gaz pour réduire la contamination. NIKON i204 est un actif pas à pas de pointe qui fournit des performances très précises dans un modèle hautement productif. Il offre une capacité d'alignement exceptionnelle, des capacités de reconnaissance de motifs supérieures, et peut gérer des substrats jusqu'à 200mm. Il est hautement configurable, avec un certain nombre d'options disponibles pour améliorer les performances, et dispose d'un outil de nettoyage intégré qui réduit les temps d'arrêt pour la maintenance.
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