Occasion NIKON I6 #9144950 à vendre en France

NIKON I6
Fabricant
NIKON
Modèle
I6
ID: 9144950
Taille de la plaquette: 5"
Stepper, 5".
NIKON I6 est un pas de plaquette de pointe conçu pour les procédés de lithographie. L'appareil possède une architecture d'équipement avancée, des opérations de haute précision, et une large gamme de fonctions, en particulier avec ses fonctions optiques. I6 a un étage de précision avec une course XY de 25mm. Cela permet un traitement de haute précision qui est essentiel pour le succès de la lithographie. En outre, NIKON I6 dispose d'un système en boucle fermée de haute précision avec une fonction de focalisation automatique et un mécanisme de compensation des différences de hauteur entre les différents points de la plaquette. I6 dispose également d'une unité de détection de surface tridimensionnelle qui permet l'alignement précis du substrat sur la surface de la plaquette. Cela permet d'assurer l'exactitude et la cohérence du processus de lithographie. En outre, NIKON I6 est construit avec une unité optique de projection hors axe qui permet une imagerie de haute précision. La machine comprend également un mécanisme d'adaptation automatique qui permet un alignement précis des œuvres sur la photomasque. Cela contribue à garantir l'exactitude de l'exposition. De plus, l'outil comporte une correction automatique in situ de l'alignement afin de tenir compte de toute dérive lors du processus d'exposition. L'optique de I6 est conçue pour supporter un large éventail de résolutions. L'appareil peut traiter des caractéristiques de 30nm ainsi que des motifs de 200 microns avec une précision et une précision élevées. De plus, la répétabilité plaque à plaque du NIKON I6 est ± 0,1 nm. En outre, I6 est construit avec une gamme complète de capteurs et de contrôleurs pour la mesure et le contrôle précis. Cela comprend un atout de métrologie qui permet de mesurer avec précision la précision d'alignement du masque et de la plaquette. Le modèle de capteur peut également mesurer la zone chevauchée entre les motifs adjacents, ainsi que analyser les motifs après exposition. NIKON I6 est un pas de plaquette puissant et polyvalent conçu pour fournir des résultats précis et précis pour les applications de lithographie. Avec son architecture d'équipement de pointe, ses opérations de haute précision et son large éventail de fonctions, I6 est un appareil idéal pour les procédés modernes de lithographie de semi-conducteurs.
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