Occasion NIKON i7 #9185650 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
i7
ID: 9185650
Steppers, 4" 2005 vintage.
NIKON i7 est un pas de plaquette optique de pointe. Il est capable de lithographie sur une large gamme d'exposition incluant les applications de traitement de fond de ligne (BEOL). NIKON I 7 est équipé d'un nouvel alignement de réticule NIKON MAPS III (Multi-Projection Alignment Equipment III) qui fournit un enregistrement de haute précision, en plus de NIKON innovant B-facility orienté, de sortie standard G-MAP format de données binaires. I7 dispose d'un capteur d'image à fente haute sensibilité à 4 plaques, permettant un alignement simultané de 1 pixel. En outre, I 7 emploie un nouveau active-AOM (Auxiliary Objective Module) avec un système de lentilles à 4 éléments pour réduire l'aberration coma. Ce module augmente considérablement l'uniformité et la netteté du champ. De plus, l'unité d'étage haute performance NIKON améliore le débit de la machine en diminuant le temps de déplacement de l'étage. Tout cela est accompli sans sacfrirfig percision. L'étage avancé Diamond-Couple de NIKON i7 est capable d'une précision de positionnement sous-nanométrique et d'accélérations jusqu'à 100 μ m/sec2. L'étage de haute précision permet des performances d'imagerie stables et cohérentes dans toute la fenêtre d'exposition. NIKON I 7 dispose également d'un nouveau CCD multiplicateur d'électrons de haute précision (EM-CCD) pour la précision de l'affichage des sous-nanomètres et la reconnaissance du motif de pas de 1 nm. Ce EM-CCD est très fiable pour des applications telles que l'alignement de micro-trous et de contacts et peut être utilisé même pour des applications avec des motifs étroits. De plus, NIKON SPTS (Shutter Process Tool Software), une fonctionnalité intelligente d'appariement de motifs, compare avec précision les données CAO avec les données transversales mesurées pour une surveillance robuste des processus. Cela permet un contrôle total de l'uniformité et de la traçabilité des processus et permet leur optimisation en temps réel. Les concepteurs de NIKON ont accordé une attention particulière à l'ergonomie de i7. Je 7 ai été conçu pour être facile à utiliser avec l'opération facile, l'accès d'outil et l'entretien. Enfin, l'outil est recouvert d'une construction en acier inoxydable durable avec un blindage haute densité pour amortir les vibrations et le bruit. NIKON i7 est un outil avancé, précis et fiable pour la recherche et le développement ainsi que dans les applications de processus de production.
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