Occasion NIKON NSR 1505 G4C #293607260 à vendre en France
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NIKON NSR 1505 G4C Wafer Stepper est une machine extrêmement précise et fiable pour créer des micropuces sur une variété de substrats. La machine est spécialement conçue pour créer des tailles de fonctions jusqu'à 0,5µm en structures 3D et est capable d'exposer une plaquette de 200mm à une vitesse maximale de 1200wafers/heure à une taille minimale de 0,7µm. La conception robuste de la machine NIKON NSR 1505 G 4 C intègre un étage de plaquettes haute vitesse conçu pour supporter des plaquettes grandes et petites de 200 à 450 mm. Il est également équipé de trois chambres d'exposition et d'un système de manutention des plaquettes conçu pour assurer une précision et une répétabilité élevées tout au long du processus d'exposition. De plus, le dispositif est basé sur un processus d'exposition fiable qui utilise un laser ultraviolet profond (DUV) d'une longueur d'onde de 308nm pour créer des puces. Cette combinaison peut être utilisée pour un large éventail d'applications telles que l'exposition à la photolithographie, l'impression et le revêtement, l'écriture directe, l'exposition au contact et les processus de transfert de motifs. Pour garantir une exposition précise et précise, la machine est équipée de fonctionnalités telles que l'optique auto-alignée haute résolution, l'alignement intelligent des motifs et la détection numérique des bords. Le dispositif supporte également une variété de méthodes d'alignement de superposition de scène conçues pour assurer la meilleure adéquation entre la conception de la puce et les motifs d'exposition. De plus, le pas est capable d'assurer une excellente répétabilité et précision. L'appareil a été conçu pour fonctionner de façon cohérente pour des milliers d'expositions et sa précision d'alignement peut atteindre jusqu'à 4nm. Ce niveau de précision tient compte des erreurs introduites par la dérive thermique, les vibrations et les turbulences atmosphériques dues au processus d'exposition. En plus du pas de plaquette lui-même, NSR 1505 G4C Wafer Stepper offre une suite complète d'outils de programmation et de calibration. Cela inclut un centre de contrôle G4C fourni par NIKON pour aider les utilisateurs à optimiser le processus d'exposition, gérer les expositions et apporter les corrections nécessaires pour une production de puce de haute qualité. Pour répondre aux différents besoins de la vaste gamme d'applications dans la fabrication de semi-conducteurs, NSR 1505 G 4 C Wafer Stepper peut être utilisé avec de nombreux autres services et produits à valeur ajoutée fournis par NIKON. Il s'agit notamment de chambres d'exposition, de systèmes de nettoyage et de divers paniers d'articles conçus pour transférer au mieux les plaquettes dans la zone d'exposition. NIKON NSR 1505 G4C Wafer Stepper est un outil exceptionnellement précis et fiable pour la production de puces qui combine une mécanique robuste et un design de pointe. Il offre une combinaison inégalée de précision, de vitesse et de flexibilité, et est adapté à une grande variété d'applications applicables à l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs.
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