Occasion NIKON NSR 1505 G4C #9296337 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 1505 G4C
ID: 9296337
Taille de la plaquette: 6"
Steppers, 6" Lens: 5x Reduction Upgraded to NSR 1505 G5.
NIKON NSR 1505 G4C est un pas de plaquette avancé utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et d'autres microdispositifs. L'équipement se compose d'un scanner, d'une colonne et d'un système optique escamotable, permettant une grande précision et une grande vitesse pendant le processus lithographique. Il est capable de déplacer de grands champs de vue, supportant des substrats jusqu'à 150 mm de diamètre, avec une taille de champ maximale de 330 mm. L'unité G4C est conçue avec une machine à infini avancée, permettant de régler le grossissement entre 1.5X à 25X avec une vitesse de balayage de 525 mm par seconde. Il est équipé de quelques-unes des caractéristiques les plus fines, y compris un outil d'alignement direct, la couture de la matrice à la matrice, et le balayage de faisceau de forme variable, permettant des résolutions ultra-fines. NIKON NSR 1505 G 4 C actif est capable de traiter plusieurs applications d'exposition en une seule analyse, permettant un débit plus élevé et des niveaux de précision plus élevés. Ceci est activé par le modèle VSB (Variable Shape Beam Scanning), qui fournit un contrôle précis pour réaliser des jeux dimensionnels sur des motifs imprimés ou pour augmenter la rugosité des bords de ligne (LER). Comme l'un des systèmes les plus rapides sur le marché, le pas G4C offre une haute résolution à 28nm et des largeurs de ligne aussi petites que 10nm. Il est également équipé d'un obturateur de synchronisation complet (FSS) qui réduit les temps d'exposition, empêche la stigmatisation sur les micro-motifs et fournit un alignement de superposition de haute précision. De plus, le système NSR 1505 G4C est conçu pour être facile à utiliser avec un panneau de commande ergonomique. Une unité de contrôle de superposition intégrée est également incluse, permettant aux utilisateurs d'effectuer facilement des réglages et des étalonnages. La machine de suivi visuel (VTS) et diverses solutions logicielles intelligentes sont incluses, pour améliorer la capacité de production et la visibilité dans la production, permettant une surveillance en temps réel et la maintenance préventive. En conclusion, NSR 1505 G 4 C est un pas de plaquette polyvalent et fiable, conçu pour fournir des performances exceptionnelles et des résultats dans la fabrication de microdevices.
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