Occasion NIKON NSR 1505 G6 #9236645 à vendre en France
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ID: 9236645
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 1992
Stepper, 4"
1992 vintage.
NIKON NSR 1505 G6 Wafer Stepper est un dispositif utilisé dans le processus de photolithographie de fabrication de semi-conducteurs. Ce dispositif permet le transfert de motifs optiques vers une plaquette de silicium qui sont utilisés pour réaliser des circuits semi-conducteurs intégrés. NSR 1505 G6 présente d'excellentes performances avec sa grande lentille de projection qui maximise le débit à sa taille de plaquette de 6 pouces. Il est conçu pour des applications sub-microns et dispose de plusieurs fonctionnalités qui améliorent la précision et la fiabilité de l'appareil. L'équipement optique du NIKON NSR 1505 G6 présente une planéité améliorée du plan d'image de la lentille de projection, une précision d'alignement plus fine et une ouverture plus grande. Cela garantit une continuité de configuration exacte et une meilleure stabilité de l'enregistrement. Le dispositif est également intégré à un système de contrôle d'exposition en temps réel connu sous le nom de PALONE-E controller, qui offre une précision d'exposition supérieure et des performances de décalage améliorées. Le contrôleur est également intégré à un certain nombre de fonctionnalités telles que le contrôle automatique de l'exposition, le décalage d'image numérique et l'autofocus qui permettent une exposition et un alignement précis. Le NSR 1505 G6 est également équipé de systèmes de balayage et de contrôle de superposition XY de haute précision. Il est conçu avec un point de vue magnifié qui fournit des performances de recouvrement améliorées et l'inspection des plaquettes. Il dispose également d'une option améliorée d'alignement de sous-faisceaux à grande vitesse qui permet d'améliorer la vitesse d'alignement. L'appareil est conçu pour l'imagerie de haute précision et utilise des données 8 bits avec une résolution pouvant atteindre 30 000 pixels. L'appareil dispose également d'une précision d'alignement des réticules de 4 pouces et d'une planéité du plan d'image de 5 um. NIKON NSR 1505 G6 intègre une nouvelle unité de tir photographique et une machine de filtrage optique très efficace. L'outil d'incendie augmente la précision et le débit en combinant l'exposition aux sources lumineuses courtes et longues. L'actif filtre permet de maintenir une sensibilité ISO optimale pour des réponses uniformes des plaquettes. Il permet également un contrôle précis de l'exposition tout en conservant de faibles valeurs de fond. NSR 1505 G6 dispose également d'un compteur automatique d'humidité et de particules qui surveille avec précision les conditions environnementales pendant le processus lithographique. Il dispose également d'un mode de maintenance pour l'étalonnage et l'entretien en temps opportun au besoin. Enfin, le dispositif est intégré à un modèle de nettoyage automatisé flexible qui peut traiter différentes tailles et formations de wafer processus, rendant le processus extrêmement efficace. Globalement, le NIKON NSR 1505 G6 Wafer Stepper est un appareil complexe avec une précision, une précision et un débit améliorés. Il est conçu pour un large éventail de tailles et d'applications de substrat, ce qui en fait un choix fiable et efficace pour les processus de photolithographie.
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