Occasion NIKON NSR 1505 G6E #293817955 à vendre en France
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ID: 293817955
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.54
Resolution: 650 nm
DCO: 140
Throughput (WPH): 58.
NIKON NSR 1505 G6E est un pas de plaquette avancé utilisé pour la lithographie dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il s'agit d'un aligneur de projection étape-balayage capable de fournir une exposition à haute densité de motifs de puce sur des substrats semi-conducteurs de grand diamètre. L'équipement est conçu pour représenter avec précision des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre et peut accueillir un processus de double plaquette qui est utilisé pour diviser les plaquettes en deux plaquettes à motifs. Le G6E est une étape multi-balayage et système de répétition qui est capable de fournir un temps de traitement plus rapide et haute vitesse. L'unité est équipée d'une machine optique de pointe dotée d'une ouverture numérique de précision de 0,35, d'un scanner haute résolution, d'un puissant outil de positionnement d'étages et d'une technologie avancée de correction d'images. Cette combinaison de caractéristiques permet à l'actif de fournir une excellente précision de recouvrement et de placement de pas < 1,5 mm avec des profondeurs allant jusqu'à 10 micromètres. Le modèle est également équipé d'un servomoteur haute vitesse pour des applications d'impulsions d'exposition plus rapides, et d'un équipement d'entraînement robuste qui assure une manipulation précise des plaquettes pendant l'exposition. Le système comprend également un mécanisme de refroidissement très efficace et un obturateur avancé pour une exposition fiable. NIKON NSR-1505G6E est une machine robuste conçue pour un fonctionnement fiable et efficace. L'outil utilise un double actif CPU composé d'un CPU principal et d'un CPU de traitement de wafer. Le CPU principal est responsable du contrôle du modèle tandis que le CPU de traitement des plaquettes gère le traitement de l'exposition et la manutention des plaquettes. Cette structure offre un débit élevé et une précision accrue grâce à une meilleure communication entre les deux CPU. NSR 1505 G6E est également conçu avec un logiciel convivial, offrant diverses options pour répondre à diverses conditions de traitement. Il est équipé d'une fonction multi-exposition, permettant aux utilisateurs de traiter plusieurs expositions sur la même plaquette. Cette fonctionnalité réduit le temps de traitement et améliore le débit global et la précision. NSR-1505G6E est un pas de plaquette avancé conçu pour répondre aux exigences des processus de lithographie les plus avancés. L'équipement est équipé d'un système optique de pointe, d'une technologie avancée de traitement des plaquettes et d'un logiciel convivial. Ces caractéristiques combinées à sa conception robuste permettent à l'unité de fournir des résultats d'exposition de qualité constante.
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