Occasion NIKON NSR 1505 G6E #9204502 à vendre en France
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ID: 9204502
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 1988
Stepper, 4"
Sapphire wafer
Wafer type: Flat
Chamber type: ASAHI S7I
Chamber width: 1500 mm
Computer: PDP11
HP 5517A Laser
Wafer alignment: LSA, WGA
Wafer carrier table: Left and right
NIKON ITV Camera
OMRON Of detection, 4"
Wafer loader type: Type1
Reticle size: 5"
Reticle library slots: (13) Main slots
Rack type: Normal right position
1988 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper est un outil de lithographie de nouvelle génération utilisé pour créer des impressions de haute précision sur les plaquettes. Il est conçu pour fournir un moyen rapide et fiable de fabriquer des structures sub-microns sur des plaquettes semi-conductrices. L'équipement utilise un système avancé de balayage, d'alignement et d'imagerie pour fournir des vitesses de traitement allant jusqu'à 150 plaquettes par heure tout en maintenant un niveau élevé de répétabilité et de précision. NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepper est équipé d'une unité de lithographie de 9 pouces avec une gamme de composants qui travaillent en tandem pour créer rapidement des impressions lithographiques de précision. La machine utilise une lentille alimentée à l'arrière de 150 mm capable d'imprimer des images jusqu'à 8,5 microns en résolution avec un pas minimum de 0,07 microns. L'outil est également équipé d'un tunnel d'image ultra haute résolution, d'un outil de balayage de raster 140-GHz et d'un modèle d'auto-alignement pour assurer un positionnement et un placement précis des empreintes lithographiques sur la plaquette. De plus, l'équipement peut être programmé de manière à créer des formes précises sur des objets non rectangulaires tels que MEMS, cristaux photoniques et autres structures spécialisées. Pour faciliter une fabrication optimale, le système est configuré avec un assortiment de masques lithographiques qui permettent à l'utilisateur de fabriquer les images et formes exactes requises pour l'application donnée. En outre, l'unité est équipée d'une machine de contrôle avancée qui permet à l'utilisateur de programmer et de contrôler l'impression lithographique pour des résolutions personnalisées, le tangage et le contraste. Pour plus de sécurité, l'outil est logé dans un environnement sans poussière étanche à l'air afin de maximiser la durée de vie de l'équipement. L'actif est en outre équipé d'un modèle d'autodiagnostic qui avertit les utilisateurs de toute exigence de maintenance telle que les changements de filtre ou le nettoyage des lentilles. NSR 1505 G6E Wafer Stepper est un instrument de lithographie très précis et fiable capable de répondre à une grande variété d'applications. Grâce à sa combinaison d'imagerie haute résolution, de systèmes avancés de contrôle et d'alignement, et d'une multitude de masques lithographiques, l'équipement est capable de produire des impressions lithographiques rapides, fiables et précises pour toute application.
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