Occasion NIKON NSR 1505 G6E #9227620 à vendre en France

NIKON NSR 1505 G6E
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 1505 G6E
ID: 9227620
Steppers.
Le NIKON NSR 1505 G6E est un dispositif de métrologie de dimension critique (CD) et de superposition pour les dispositifs semi-conducteurs, conçu pour fournir des résultats de haute précision pour les opérations de pas de plaquettes à motifs simples et multiples. Il est capable de fonctionner avec une grande variété de substrats d'imagerie, y compris le quartz, la silice fondue, le CaF2, et d'autres, et est conçu pour être utilisé dans diverses applications de construction de dispositifs arrière et avant en microélectronique. NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepper est équipé d'un laser à 5KW dioxyde de carbone (CO2) et d'un axe de balayage vertical intégré. Il est capable de produire des résolutions allant jusqu'à 0,2 µm, et fournit des vitesses de fonctionnement allant jusqu'à 24-150 mm/s. Ses principaux paramètres de fonctionnement de l'étape comprennent le décalage de la focale, le déphasage, la répétition de l'analyse, la taille de l'analyse et la direction de l'analyse. NSR 1505 G6E intègre un système d'optimisation et de configuration multi-détecteurs, comprenant un certain nombre de détecteurs et d'optiques spécialisés, avec divers outils et systèmes de traitement d'image. Son moniteur central peut détecter les changements de position de mise au point pour chaque exposition, ce qui permet au dispositif d'atteindre un niveau élevé de précision et de précision. Il est en outre équipé d'un certain nombre d'améliorations logicielles et matérielles, telles que sa distorsion anti-structure et ses fonctions de contrôle de focalisation. NSR-1505G6E utilise une gamme de modes d'imagerie, tels que le Top-Down (L&L), le déréférencement, le multiplexage et la couture, pour obtenir des résultats d'imagerie optimaux pour diverses applications. Il est capable de traiter jusqu'à 12 blocs simultanément, et est capable d'exposer plusieurs motifs dans une seule plaquette en une seule exposition. Il est en outre équipé d'un système intégré de manutention des plaquettes et de fonctions automatisées de chargement et de déchargement pour faciliter des cycles de traitement plus rapides. NIKON NSR 1505 G6E convient pour des applications dans l'inspection de la planéité du substrat, la mesure du CD, la surveillance du profil, l'amélioration de l'image et le filetage. Il fait partie de la gamme de systèmes Wafer Stepper de l'entreprise et fonctionne avec le générateur de motifs NSR-1505 pour les tests de conformité de niveau de Wafer électrique. Il est soutenu par NIKON réseau complet de support et de service, fournissant à ses clients un système fiable qui répond aux normes les plus élevées de précision et de performance.
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