Occasion NIKON NSR 1505 G6E #9245623 à vendre en France
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ID: 9245623
Stepper
Power supply: 220 VAC, Single phase, 50 A, 50-60 Hz, 4 W, 18 kW.
NIKON NSR 1505 G6E est un pas de plaquette de pointe conçu pour le traitement de précision des substrats dans les industries semi-conductrices et connexes. La technologie de pointe de l'équipement permet un haut débit et une uniformité, grâce à son espace de travail rigide basé sur la plate-forme NIKON Heavy Nano Control II de la NSR. Les substrats sont exposés à une reproductibilité ultra haute résolution et sans défaut grâce au système de commande de mouvement 6 axes de haute précision de la machine et à l'unité motrice à entraînement direct ultra haute précision. La machine de positionnement haute résolution, haute précision et dynamique permet de traiter les substrats jusqu'à 5nm. L'outil dispose d'une conception d'étage thermiquement stable avec une compensation de température allant de 0 à 60 ° C pour ses 3 axes, optimisée pour des tâches de balisage d'ultra haute précision. Le positionneur vertical/latéral intégré permet également d'exposer avec précision les angles de polygones décalés et la modulation x-y, assurant une plus grande précision et une répétabilité supérieure des motifs superposés. En outre, NIKON NSR-1505G6E dispose d'une précision d'alignement leader dans l'industrie avec son alignement automatique et ses boucles de correction de saut, qui permettent d'enregistrer avec précision et d'éliminer les erreurs de distorsion. La précision d'alignement avancée de la machine contribue également à stimuler la détection des défauts et la reconnaissance des particules. NSR 1505 G6E comprend un large éventail de fonctionnalités de processus, y compris des fonctions avancées d'alignement des porteurs et des étages, des motifs précis et reproductibles de formes variables, des éclairs lumineux et des foncements, ainsi que des fonctions de miroir et de tableau. D'autres caractéristiques comprennent la connectivité et les opérations entièrement automatisées, le contrôle environnemental, comme la protection contre la poussière et l'EDD, et un matériel de nettoyage intégré. NSR-1505G6E wafer stepper est un modèle polyvalent et très flexible offrant des performances et une précision supérieures. Avec sa haute précision et ses capacités de traitement fiables, il est un outil essentiel pour les fabricants de toutes tailles, offrant une production de haut débit et de qualité.
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