Occasion NIKON NSR 1505 G7 #9067646 à vendre en France

NIKON NSR 1505 G7
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 1505 G7
ID: 9067646
Wafer stepper.
NIKON NSR 1505 G7 est un pas de plaquette avancé, qui est conçu pour produire rapidement des microélectroniques très précises sur des plaquettes minces. NIKON NSR 1505G7 a une taille de réticule de 7 pouces, une résolution de sous-micron de 50 nm, et sa vitesse maximale de balayage est de 320 mm/s. Il est capable d'un pas maximum et répétabilité de 0,1 μ m, ce qui le rend idéal pour la réalisation de motifs fins sur des coupes hautes ou des substrats à architecture complexe. Le stepper offre également une large gamme de niveaux d'exposition de 4 à 10 μJ/cm2. NSR 1505 G7 utilise un équipement avancé de contrôle de l'illumination du processus de lissage (SIC-IC) pour fournir une imagerie haute résolution à haut débit. Le système SIC-IC utilise des sources lumineuses laser à intensité variable et des optiques à diffraction limitée avec une conception d'éclairage 4x4 pour fournir une imagerie uniforme, et peut être utilisé pour réduire la contamination par le masque de photorésist, la contamination, le frottement et l'ombre. NSR 1505G7 est également équipé d'une unité d'exposition à double faisceau très fiable et robuste capable d'obtenir une imagerie haute résolution à grande vitesse. La machine d'exposition utilise quatre faisceaux laser pour aligner et exposer plusieurs plaquettes en parallèle, ce qui permet des temps de cycle plus rapides et une précision de traitement améliorée. Le stepper est également capable de photolithographie à niveau de grille à transistor à couches minces (TFT), ce qui le rend bien adapté à la micro-fabrication de circuits fins. Il peut atteindre des caractéristiques de ratio d'aspect élevé avec sa capacité d'imagerie multi-split (MSI) et peut également atteindre des paramètres de sous-microns avec un degré élevé de précision. Le NIKON NSR 1505 G7 est également capable d'imagerie en champ sombre et en champ lumineux, ce qui le rend adapté à des applications telles que le procédé en silicium polycristallin à basse température (LTPS) ou en silicium polycristallin photoconducteur (PCPS). Le stepper est également équipé d'un outil facile à utiliser qui nécessite une entrée minimale de l'utilisateur et offre des interfaces utilisateur intuitives. Cela permet à l'opérateur de mettre rapidement en place et de faire fonctionner le stepper avec un minimum de stress et de confusion. En outre, le stepper est également équipé d'une variété de dispositifs de sécurité pour protéger les utilisateurs contre l'exposition accidentelle des sources lumineuses laser ou du réticule. Dans l'ensemble, NIKON NSR 1505G7 est un pas de plaquette avancé qui peut être utilisé pour produire des microélectroniques très précises avec un débit élevé. Il est capable de réaliser l'imagerie haute résolution avec le champ sombre et l'imagerie de champ lumineux, et offre des caractéristiques de plaquette précises et l'alignement avec son actif d'exposition à double faisceau. Il est également équipé d'une variété de fonctions de sécurité et peut être utilisé rapidement et facilement avec une entrée minimale de l'utilisateur.
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