Occasion NIKON NSR 1505 G7A #9160455 à vendre en France

NIKON NSR 1505 G7A
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 1505 G7A
ID: 9160455
Taille de la plaquette: 4"
Steppers, 4" Reticle size: 5".
NIKON NSR 1505 G7A Wafer Stepper est un outil d'imagerie avancé utilisé pour la production de substrats photomasques pour semi-conducteurs et autres composants électroniques. Cet outil fournit un équipement d'imagerie optique de haute précision utilisant la lumière de longueur d'onde Deep Ultraviolet (DUV) pour définir avec précision et cohérence les motifs d'inscription sur un substrat. NSR 1505 G7A a un champ d'image maximum de 150mm x 150mm, et dispose d'un système optique amélioré par Vycor qui utilise une ouverture numérique axialement symétrique (NA) de 0,68. Cette unité haute performance permet un alignement précis jusqu'à six lentilles de projection pour un champ de vision maximisé. De plus, NIKON NSR 1505 G7A peut générer une résolution maximale de 2,4 μ m (0,096 mils) avec des longueurs d'onde aux ultraviolets profonds de 248nm. Les principales caractéristiques de NSR 1505 G7A sont son ingénierie DoF, des lentilles de zoom en verre étagées et des matériaux semi-conducteurs QV. L'ingénierie DoF fournit une profondeur de champ homogène avec une distribution d'intensité gaussienne de 0,2 um à 40 um, tandis que les lentilles de zoom en verre étagées permettent une distorsion réduite et une visualisation précise des caractéristiques à de multiples grossissements. Les matériaux semi-conducteurs QV ont des performances de gravure et de dépôt fiables avec une bonne adhérence et une stabilité à long terme. L'outil dispose d'une plate-forme de stabilisation du champ d'image à trois plaques (TP-IFS) qui assure une dérive minimale du champ d'image pendant l'exposition. Cela permet de s'assurer que les motifs produits sont identiques à chaque exposition. NIKON NSR 1505 G7A dispose également d'une machine intégrée d'alignement au niveau des plaquettes qui permet un alignement précis des substrats prétraités, et d'un étage de film à diapositives sous vide qui fournit un centrage répétable des plaquettes et une productivité améliorée. L'outil comprend un marqueur laser automatique pour assurer l'enregistrement précis des masques sur la plaquette exposée. En outre, l'outil dispose d'un actif de contrôle d'exposition haute performance qui peut exécuter jusqu'à huit réglages de travail et exposer plusieurs puces en un seul coup. Enfin, NSR 1505 G7A Wafer Stepper est intégré à un gestionnaire de disques flexibles intelligent qui capture jusqu'à 50 disques et effectue des inspections de façon autonome. Cela garantit une qualité et des performances optimales pour la production de masse.
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