Occasion NIKON NSR 1505 G7D #9045469 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 1505 G7D
ID: 9045469
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1990
Stepper, 6", parts machine Nikon NSR control rack Stored in cleanroom 1990 vintage.
NIKON NSR 1505 G7D Wafer Stepper est un équipement de lithographie de précision conçu pour une variété de besoins d'application. Il est capable de réaliser des procédés de lithographie de série qui peuvent répondre à des exigences de rendement strictes dans l'emballage et la fabrication de semi-conducteurs avancés. NSR 1505 G7D est un système de lithographie haute précision et à haut débit qui offre un débit supérieur, une stabilité de débit et la résolution la plus élevée disponible dans sa catégorie. Il est également conçu pour assurer des doses d'exposition uniformes et stables, permettant aux clients de produire les dispositifs semi-conducteurs de la plus haute qualité. L'unité intègre également un certain nombre de caractéristiques avancées, telles que l'alignement automatique du substrat en trois dimensions, le contrôle d'exposition inégal pour le fonctionnement horizontal et vertical de l'exposition, l'indentation automatique du substrat et l'inspection des poussières, et une variété d'options de manipulation du substrat. NIKON NSR 1505 G7D utilise une fente de 5 microns, avec une diode laser qui produit un rayonnement sur une sortie maximale de 200 mW/cm2. Il offre une large gamme de longueur d'onde de 365 à 445nm et il a un temps d'exposition maximum de 5μms. Il peut atteindre une focalisation minimale de 18 μ m, ainsi que la focalisation submicronique sur une large plage de température. NSR 1505 G7D utilise un amplificateur de projection directe qui supporte des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. Il est également capable de manipuler une variété de substrats, y compris des feuilles de silicium sur isolant et de couches minces. En outre, il peut être utilisé avec des photorésist et d'autres matériaux, ce qui en fait un choix idéal pour le type avancé de lithographie semi-conductrice. En utilisant NIKON NSR 1505 G7D Wafer Stepper, il est possible de programmer des paramètres de numérisation et de focalisation pour traiter un grand nombre de substrats avec une grande uniformité et un rendement élevé. En outre, il permet également un alignement et un centrage facile du substrat grâce à sa machine de reconnaissance de motifs intégrée et à sa fonction autofocus. Enfin, NSR 1505 G7D est très compatible avec les masques, plaques et autres pièces accessoires. Cela garantit une intégration facile aux équipements de lithographie existants et permet le transfert rapide de technologie entre les différentes applications.
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