Occasion NIKON NSR 1505 G7E #293589147 à vendre en France

NIKON NSR 1505 G7E est un pas de plaquette conçu pour la lithographie à haut débit et haute fidélité. Il est conçu pour la production de micropuces de taille micro et nanométrique. La source lumineuse de la machine est un réseau laser-diode qui fournit un niveau élevé d'intensité d'exposition. La zone d'exposition est de 121 mm x 121 mm, avec une profondeur de focalisation de 0,75 μ m. Le moteur de la machine est d'un équipement de mouvement asservi unique, fournissant un mouvement lisse et précis. Le système optique est également alimenté par cette unité de mouvement asservi et est composé d'une machine à deux lentilles, avec une ouverture numérique (NA) de 0,6 et une distance de travail de 3,6 mm. Cet outil est capable de surveiller et d'optimiser en permanence ses performances, ce qui lui permet d'obtenir la plus grande précision. NIKON NSR-1505G7E dispose également d'un atout de scène avec une large plage de déplacement de 120 mm en X et en Y, et une vitesse maximale de 200 mm/sec. Ce modèle d'étage est conçu pour la stabilité thermo-mécanique et pour limiter la turbulence de l'air. La machine offre un équipement manuel de mise au point automatique (MAF) pour un réglage de mise au point rapide et précis. Ce système dispose d'une longue durée de vie et est capable de détecter la planéité de la surface, permettant un mouvement plus lisse à travers la plaquette. La machine comprend également une unité chargeur/déchargeur de grande capacité qui permet à un utilisateur de charger et décharger la plaquette en une seule opération, ce qui permet un débit plus rapide. NSR-1505 G7E comprend également une cassette wafer de grande capacité. Ceci est lié à une machine de gestion d'ID de plaquettes pour permettre le chargement de clés de plaquettes et de fentes de plaquettes rapides. Dans l'ensemble, NSR 1505 G7E est une machine idéale pour la lithographie à haut débit et haute fidélité, offrant un processus de chargement/déchargement rapide, une optique et des systèmes de mouvement haut de gamme, et une longue durée de vie. C'est le choix parfait pour la production en volume de nano et de micro-puces.