Occasion NIKON NSR 1505 G7E #293717121 à vendre en France
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NIKON NSR 1505 G7E est un pas de plaquette à 5 axes conçu pour les installations de traitement de plaquettes à haut volume. NIKON NSR-1505G7E est conçu pour fournir une lithographie robuste et de haute précision, qui donne des résultats fiables même dans les environnements de production les plus difficiles. Le produit est conçu avec une taille de cadre 150mm × 150mm et une course de 40mm en mouvement XYZ et 5 axes. Le stepper est équipé de la technologie 5 axes d'origine NIKON, qui permet une imagerie 3D avec une précision et un débit améliorés. NSR-1505 G7E dispose également d'un laser à exposition rapide, qui offre une plage de température de fonctionnement étendue de - 25˚C à +50˚C. Le stepper dispose d'un équipement d'éclairage haute fréquence qui a été conçu à l'aide de composants de haute précision pour produire un éclairage uniforme sur toute la surface de la plaquette. Ce système assure une distribution d'énergie réglable entre les cinq axes. NIKON NSR-1505 G7E dispose également d'une unité automatique de contrôle de position des plaquettes pour assurer un alignement cohérent et reproductible des substrats. Le stepper est équipé d'un capteur d'image de contact de 8 pouces (CIS), qui peut détecter et mesurer l'écart de hauteur des images individuelles sur la plaquette. Ceci garantit la plus grande précision pour répondre aux exigences de 0,2 micron de largeur de ligne et de motifs de contact. Une machine de formation à l'amplification de haute précision est disponible en option pour améliorer encore la précision et réduire les variations de largeur de ligne. NSR 1505 G7E fournit un fonctionnement silencieux, un outil de mouvement sans vibration, un alignement automatique sur le bord de la plaquette, et un excellent contrôle de dose. Le stepper est conçu pour supporter une large gamme de tailles et de types de plaquettes, et une grande variété de sources de rayonnement, y compris la lumière laser ArF, les LED UV, et les lasers UV. En outre, le stepper dispose d'un logiciel de contrôle convivial et avancé qui offre des opérations de stabilité et de précision pour améliorer la productivité et la rentabilité. Les données d'opération sont facilement accessibles et l'opération automatique peut être reproduite avec les mêmes résultats d'exécution en exécution. Dans l'ensemble, NSR-1505G7E est une solution de lithographie parfaite pour les fabriques de semi-conducteurs à haut volume. Les caractéristiques avancées en font l'un des paliers de plaquettes les plus fiables et productifs de l'industrie.
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