Occasion NIKON NSR 1505 G7E #9386319 à vendre en France
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ID: 9386319
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1990
Stepper, 6"
ASAHI S75 Chamber
Chamber temperature: 23°C
Fixed reticle microscope, 15mm
PDP-11/73 Computer
HP 5517A Laser
LSA Laser: 5 mW
ITV Camera
Wafer condition: Silicon
OF Detection
Wafer loader: Type 1
Wafer carrier table: Left / Right
Reticle, 5"
No lens data
Rack type: Right
Electric source: NEMA Box
CVCF
1/2 Switch
1990 vintage.
NIKON NSR 1505 G7E est un pas de plaquette haute performance de NIKON qui offre une excellente précision et débit pour les applications lithographiques. C'est stepper le plus avancé de sa classe, avec une conduite de l'industrie ±4 µm pour l'exactitude de placement de dessin et ±10 nm pour l'uniformité de CD. Construit avec un équipement optique superchromatique de réduction de l'aberration chromatique (CAROS), il offre une qualité d'imagerie supérieure et le plus haut degré de fidélité et de répétabilité des motifs. NIKON NSR-1505G7E dispose de sources lumineuses pouvant atteindre 250 W, de modes d'exposition multiples et d'énergie d'exposition 7. Il a un grand champ optique de 5,5 pouces x 5,5 pouces et une résolution améliorée de 140 nm ou moins. Le stepper utilise un système optique RCAS (Robust Corrective Algorithm Shaping) unique pour un développement de motifs supérieur, caractérisé par une faible distorsion des lentilles et des différences de précision de projection avec des valeurs d'aberration très réduites. Pour la précision de l'exposition, le G7E offre le « moniteur de ratio d'exposition » innovant qui fournit des retours en temps réel pour maintenir les meilleures propriétés de sonnerie et de distorsion de bord. NSR-1505 G7E comprend une tourelle automatique de filtre couleur dichroïque qui permet des changements faciles du spectre d'éclairage. Il est également équipé d'une unité de focalisation automatique qui simplifie les corrections de la planéité du champ, ainsi que de barres de correction/planéité laser/intra-champ variables qui supportent le balayage des plaquettes de haute précision. La précision d'exposition du G7E est encore améliorée par un « Best-Fit Principle » qui fournit un réglage optimal de l'énergie d'exposition et le développement de la recette. D'autres caractéristiques de NSR 1505 G7E comprennent un obturateur de plan focal refroidi par air, une machine automatisée d'alignement des plaquettes, deux étapes de réglage de la vitesse des plaquettes pour correspondre à la résolution souhaitée, et un système d'exploitation de bord qui fournit une meilleure gestion des données et la sécurité. En fournissant une imagerie et une précision supérieures, le G7E est la norme de l'industrie pour la technologie des gradins. Il est bien adapté pour une large gamme d'applications allant de la fabrication de puces fabless à des solutions d'imagerie haut de gamme, telles que MEMS, nano-lithographie, et la production micro-électronique.
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