Occasion NIKON NSR 1505 i10D #146913 à vendre en France

NIKON NSR 1505 i10D est un pas de plaquette avancé de haute précision pour la production de puces semi-conductrices. Il est équipé de technologies optoméchatroniques de pointe, fournissant précision et débit pour des besoins exigeants en lithographie de haut volume. Le NSR 1505 i10D dispose d'un laser de 10nm, d'une précision de 1 nm et d'une surface de champ de 250 mm. Il est capable d'exposer rapidement et avec précision 1-3 couches de motifs par plaquette, et son étage en forme de C de 1 mm est conçu pour réduire la contrainte d'étage et les erreurs de placement de motifs induites par les vibrations. Il est également livré avec un système d'éclairage mono-angulaire haut de gamme pour une uniformité d'éclairage supérieure, permettant une utilisation extrêmement dense. L'optoméchatronique NIKON NSR 1505 i10D offre des performances lithographiques supérieures. Il dispose d'un étage de mouvement linéaire piézo-mené de 4 microns, qui assure un mouvement simultané de la plaquette et de l'étage avec une grande stabilité. De plus, l'approche basée sur les wafers-stage étend la gamme de compensation du stepper à 250 μ m et permet une compensation efficace en vol pour les distorsions locales et mondiales. De plus, NIKON InCelli Transfer Technology offre un transfert de plaquettes sans contact pour réduire l'empreinte du pas en éliminant le besoin d'un dispositif de transfert externe. La fonction macro-prévisualisation analyse la caractéristique principale de la mise en page avant l'exposition et compense la distorsion globale des motifs, tout en sélectionnant des valeurs de focus et de superposition appropriées pour optimiser la stratégie d'exposition. NSR 1505 i10D est également livré avec une tête d'éclairage spécialisée conçue pour l'amélioration de la fixation sans particules. Cela aide à réduire les particules causées par les particules sans huile et le mélange de résines photosensibles, ainsi que l'irradiation simultanée à 3 faisceaux pour améliorer les performances de l'inspection par contournement. Il est soutenu par un ensemble de services complet qui offre la meilleure disponibilité d'outils en classe et une maintenance efficace avec un nombre réduit d'heures d'interruption. L'environnement facile à utiliser du stepper inclut l'interface d'utilisateur graphique PASIV™ très haut de gamme et les possibilités de fabrication sur commande d'opérations étendues. Dans l'ensemble, NIKON NSR 1505 i10D est un pas de plaquette avancé et très précis pour la production de puces semi-conductrices, avec des technologies optoméchatroniques de pointe qui fournissent une excellente précision et débit pour des besoins exigeants en lithographie de haut volume.