Occasion NIKON NSR 1505 i6A #293817954 à vendre en France
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ID: 293817954
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.45
Resolution: 750 nm
DCO: 140
Throughput (WPH): 52.
NIKON NSR 1505 i6A est un pas de plaquette haute performance et haute précision conçu pour les procédés lithographiques. Il est équipé de nombreuses caractéristiques de pointe telles que des servomoteurs numériques, un équipement de lentilles optiques en boucle fermée et une capacité robuste de détection de support. NSR 1505 i6A est capable de produire des images avec une résolution de 1,3 μ m, des valeurs minimales manquantes de 1,0 μ m, un alignement entièrement automatisé et tout en étant capable de répéter avec précision une dose d'exposition prédéterminée. Le système optique de NIKON NSR 1505 i6A comprend une lentille brevetée à grande ouverture haute ouverture numérique (NA) qui est équipée de moteurs Digital Servo. Les moteurs Digital Servo permettent à la machine d'effectuer des opérations ultra-sensibles de haute précision et d'atteindre une vitesse, une précision et une résolution maximales. La capacité de détection du support de NSR 1505 i6A est également très utile lorsqu'une répétition précise d'une dose d'exposition est souhaitée car l'outil est capable de détecter des changements précis dans le niveau de surface du support de la plaquette. NIKON NSR 1505 i6A est capable de produire des images à haute résolution jusqu'à 1,3 μ m selon les caractéristiques à imager. Il dispose également d'un atout d'alignement entièrement automatisé qui simplifie le processus d'alignement et le rend plus facile à manipuler. Le modèle offre également une dose d'exposition uniforme, ce qui garantit une grande stabilité du procédé photolithographique. Il peut accueillir une large gamme de plaquettes de 50 à 200mm ainsi que de nombreuses tailles de photomasques différentes. Bref, NSR 1505 i6A est un pas de tranche de précision conçu pour des procédés lithographiques de haute précision. Il dispose d'une lentille haut de gamme équipée de moteurs Digital Servo, d'une capacité de détection de support et d'un système d'alignement entièrement automatisé pour une répétabilité de dose précise. NIKON NSR 1505 i6A peut accueillir une large gamme de plaquettes et lui permet de produire des images à haute résolution jusqu'à 1,3 μ m de taille qui sont uniformes en dose d'exposition. Les nombreuses caractéristiques de NSR 1505 i6A en font l'outil de choix pour les procédés lithographiques de la plus haute précision.
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