Occasion NIKON NSR 1505 i7A #293634869 à vendre en France
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ID: 293634869
Taille de la plaquette: 4"
i-Line stepper, 4"
Non-funtional parts:
Circuit boards: A-5, A-9, A-13, A-17, A-19, A-23, A-34, A-35
(3) Motor modules RT
Z/Theta stage motor module
Stage screw
X-Y Axis motor
Mercury lamp base
Power supply of each module
Wafer and reticle handler of module motor
FIA.
Le NIKON NSR 1505 i7A est un équipement de pointe pour pas de plaquettes UV profonds conçu pour répondre aux exigences lithographiques les plus exigeantes. Il offre une précision de recouvrement supérieure, une large gamme d'outils d'exposition, et la capacité de traiter des plaquettes jusqu'à une taille de 7 pouces de diamètre. NIKON NSR-1505I7A utilise un puissant laser ArF de ligne I 5 mW à commande numérique, capable de travailler avec une gamme complète de doses d'exposition. Le système est équipé d'une unité intégrée de réduction de la photographie des correcteurs de champ proche (NFC), qui offre des performances et une précision supérieures, en fournissant une fonction avancée d'aplatissement du champ de balayage pour les distorsions non orthogonales. Cela est facilité par une machine innovante d'éclairage à ondes planes, qui offre une homogénéité supérieure, des aberrations réduites et une haute résolution. De plus, NSR 1505 I7A est équipé d'un outil d'alignement de grande capacité qui offre une précision d'alignement supérieure pour toutes les conditions d'exposition et applications. L'actif d'alignement comprend une plate-forme Sub-Micron haute résolution, et un modèle d'alignement des réticules automatiquement sélectionnables (ASRA) en attente de brevet. L'équipement ASRA offre également des mesures de recouvrement avancées pour s'assurer que chaque échantillon est exactement aligné. Le système d'exposition de NSR 1505 I 7 A peut également être configuré pour traiter des plaquettes de taille, d'épaisseur et d'exposition variables. Cela se fait à l'aide d'une option de réglage variable en attente de brevet, qui peut être mise en place rapidement, et adaptée aux besoins spécifiques de chaque demande. De plus, le NIKON NSR 1505 I7A est également équipé d'une large gamme de tests de conformité et d'exposition. Cela comprend la capacité d'effectuer des mesures de superposition de haute précision, des essais de vérification de l'exposition et un large choix de tests d'uniformité de l'exposition des plaquettes. En conclusion, NSR-1505I7A est une unité d'étape supérieure, avec une large gamme d'outils d'exposition, et la capacité de traiter des plaquettes jusqu'à une taille de 7 pouces. Avec la machine d'exposition avancée, l'outil de réduction de la photographie NFC, l'option de réglage variable en attente de brevet et les mesures de superposition, les tests de vérification de l'exposition et un large choix de tests d'uniformité d'exposition des plaquettes, NSR 1505 i7A est un atout idéal pour de nombreuses applications de lithographie exigeantes.
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