Occasion NIKON NSR 1505 i7A #9226270 à vendre en France
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ID: 9226270
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1990
Stepper, 6"
1990 vintage.
NIKON NSR 1505 i7A est un pas de plaquette avancé qui permet d'obtenir une solution très précise et rentable pour mesurer les photomasques dans la fabrication d'une variété de microdevices. Cette machine a été conçue pour permettre la production et l'inspection de dispositifs aussi petits que 190 nm ligne/espace. Il offre un équipement intégré qui est compatible avec le logiciel OpenQuelconque Photomask (OVP), fournissant une plate-forme automatisée facile à utiliser avec des procédures de configuration efficaces. NIKON NSR-1505I7A est un système de balayage de masque éclairé à 5 axes, à faisceau parallèle, qui utilise une lentille de projection haute résolution pour focaliser une image sur un masque ou une plaquette. Il offre une taille de champ de 40 mm dans la direction des axes x- et y et peut être utilisé pour sous-100 nm. L'option de collage permet de réduire les coûts de production du masque, permettant à la machine de devenir un choix idéal pour une production de volume plus élevé. NSR 1505 I7A permet des expositions double face, avec des têtes d'exposition indépendantes pour chaque côté. Une unité de contrôle de la chaleur réglable assure une température de processus exacte pour un meilleur contrôle du processus. La machine d'alignement intégrée permet une analyse de recouvrement précise, permettant de placer avec précision différents motifs sur la plaquette. La machine offre également des fonctionnalités telles que le transport automatique des masques et le transfert des plaquettes, ainsi qu'un mécanisme automatisé de positionnement des mandrins pour un centrage précis et rapide des plaquettes. De plus, NIKON NSR 1505 I7A dispose d'une capacité de mesure haute résolution capable d'identifier des pièces de caractéristiques de masque qui sont aussi petites que 70 nm. Le i7A est équipé d'un outil de focalisation automatique tridimensionnel pour permettre un alignement précis du masque et de la plaquette et une uniformité améliorée de la plaquette à la plaquette. En fin de compte, NSR-1505I7A est un pas de plaquette puissant, précis et évolutif conçu pour fournir un processus de production rentable avec des résultats supérieurs. Utilisant des capacités d'automatisation avancées et un atout optique hautement capable, cette machine est une excellente solution pour la fabrication et l'inspection de masques avancés.
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