Occasion NIKON NSR 1505 i7A #9226273 à vendre en France
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ID: 9226273
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1990
Stepper, 6"
1990 vintage.
NIKON NSR 1505 i7A est un pas de plaquette entièrement automatisé optimisé pour la lithographie haute résolution dans les applications de micro-fabrication à l'avance. Ce stepper a un design sophistiqué avec des performances supérieures. NIKON NSR-1505I7A dispose d'un grand espace de travail et peut traiter jusqu'à 7 "wafers. Grâce à ses technologies d'imagerie intégrées et à l'optique de pointe, ce pas peut produire des motifs très précis et cohérents avec une grande planéité de champ. Il est capable d'une précision de motif sous-micron, capable d'atteindre des résolutions aussi faibles que 0,25 µm. Et avec sa grande profondeur de focalisation sur le terrain, il peut produire des caractéristiques allant jusqu'à 5µm. Il a également une routine de calibration avancée pour l'alignement des lentilles, permettant une résolution optimale et la position de l'image à chaque cycle d'exposition. Le NSR 1505 I7A comporte également un étage commandé par ordinateur pour commander les axes X, Y et Z de la plaquette, ainsi qu'un étage rotatif de haute précision pour orienter la plaquette. Cette étape de précision a une distance de course étendue de 350mm, avec une vitesse de balayage maximale de 350mm/s. De plus, ce pas comprend un mandrin à vide de précision pour maintenir la plaquette immobile pendant l'exposition. NSR-1505I7A dispose également d'une infrastructure de manutention embarquée pour réduire les temps d'installation et de cycle. Il dispose d'un système de manutention automatique des plaquettes avec un enrouleur et un procédé de cuisson en deux étapes, ainsi que d'un système automatisé de transfert de matériel pour améliorer le débit. Outre sa flexibilité et sa précision, le NSR 1505 I 7 A est également un pas respectueux de l'environnement. Il a une faible consommation d'énergie, une faible production de chaleur, et peut fonctionner en quasi-silence pour faciliter son utilisation en laboratoire et en salle blanche. Avec ses technologies de pointe, NIKON NSR 1505 I7A offre un moyen fiable et efficace d'effectuer la lithographie.
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