Occasion NIKON NSR 1755 i7 #9053209 à vendre en France

NIKON NSR 1755 i7
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 1755 i7
ID: 9053209
Stepper Reduction Lens Type : 5iC1S-91359 PPD : YES Reticle Size : 5" Reticle Case : 8 each Reticle Barcode Reader : YES Movable Reticle Microscope : YES Stage Screw : Ball Screw Wafer Chuck : 6" ceramic Pre Alignment 2 : YES 6" SEMI Chip Leveling : YES Exposure Field Size : 17.5mm x 17.5mm RL Library Type : ARL Extended RL Library : No Wafer Size : 6 inch Wafer OF Type : YES OF SEMI Extended WL Carrier : (2) units Inline Type : NO Control Rack Position : Special LEFT Alignment Sensor : LSA/FIA Signal Tower : YES.
NIKON NSR 1755 i7 est un pas de tranche de haute précision conçu pour la fabrication d'appareils dans les applications semi-conductrices, MEMS, LED, et les emballages avancés. Cette plateforme de nouvelle génération a été conçue en collaboration avec d'éminents experts en lithographie de TSMC afin de fournir un débit accru pour les exigences de production les plus exigeantes. NSR 1755 i7 wafer stepper offre un débit supérieur, avec un débit maximum de 90 wafers par heure avec une précision de focalisation jusqu'à 0,07 microns pour l'alignement des wafer. Il est équipé d'un équipement de contrôle d'étage avancé qui utilise plusieurs réseaux d'encodeurs pour une grande vitesse et un réglage précis de l'étage. L'étage de la plaquette est également équipé d'un système d'autofocus, qui peut ajuster la mise au point des images de la plaquette avec une grande précision. Le pas de plaquette bénéficie également d'une conception haute résolution de mandrin de plaquette qui permet des performances précises et reproductibles lors de la manipulation de différents types de plaquettes. Cette plate-forme NIKON NSR 1755 i7 est également conçue avec une optique de projection avancée utilisant une conception de lentille asphérique pour augmenter le débit optique et réduire les aberrations qui peuvent survenir pendant l'exposition. L'unité optique utilise une machine mobile réticule de 5x5 mm qui permet d'utiliser un grand nombre de masques avec le stepper. Il dispose également d'un outil de contrôle de polarisation qui permet de réduire la diffraction pour améliorer la qualité de l'image. NSR 1755 i7 est équipé d'une interface graphique conviviale et d'un éditeur de tâches automatisé qui permet aux utilisateurs de configurer facilement les séquences de tâches et de modifier les paramètres rapidement et facilement. Ce stepper comprend un atout robot qui charge et décharge automatiquement la plaquette de la cassette de plaquette, ainsi qu'un modèle de hucking de plaquette pour la manipulation de précision de la plaquette. NIKON NSR 1755 i7 comprend également un équipement complet de gestion de la maintenance pour la maintenance préventive et la gestion des demandes de service. Le système fournit également des capacités d'enregistrement des données pour analyser l'uniformité de l'exposition et les performances des paliers. Il est compatible avec diverses sources de recherche de données, y compris SNF et FabMaster, et fournit un soutien complet aux normes OIF Laser Writer CHESS. Dans l'ensemble, NSR 1755 i7 est un pas de tranche de haute précision qui est conçu pour fournir une précision de débit et de focalisation supérieure pour la fabrication de dispositifs dans les applications de semi-conducteur, MEMS, LED, et les emballages avancés. Avec son optique de projection avancée, son interface conviviale, son éditeur de tâches automatisé, son unité robot et sa machine de gestion de maintenance complète, cette plateforme est conçue pour répondre aux besoins de production les plus exigeants.
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