Occasion NIKON NSR 1755 i7A #9236936 à vendre en France

NIKON NSR 1755 i7A est un équipement de lithographie à grande échelle conçu pour la production en série de circuits intégrés. Il s'agit d'un site complet, sans contamination et respectueux de l'environnement. NIKON NSR 1755I7A peut atteindre un haut débit, une grande précision et une grande répétabilité dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. NSR-1755I7A utilise un champ de balayage de 500 mm, avec un écart de champ de balayage résiduel (RMS) de 0,5 μ m ou moins. Il permet une vitesse de balayage allant jusqu'à 25,3 plaquettes par heure, tout en maintenant une résolution et un débit élevés. La profondeur de mise au point effective de la couche (DOF) est supérieure à 50 μ m, et la planéité de mise en place de la résistance est inférieure à 0,18 μ m. La haute résolution obtenue par ce système permet jusqu'à 0,6 μ m de variation de dimension critique. Il dispose également d'une unité avancée d'alignement de recouvrement laser qui fournit une précision allant jusqu'à 0,1 μ m pour le recouvrement entre les couches. En outre, la machine est équipée de systèmes de réduction de la contamination laser à haute sensibilité, qui permettent d'augmenter le débit et le rendement. Cela est possible grâce aux mesures intégrées de prévention de la contamination des plaquettes de l'outil qui inhibent la possibilité que des particules entrent dans l'actif de lithographie. Il utilise également des systèmes avancés de réduction des vibrations de haute précision pour contrôler les effets thermiques et électriques sur l'optique de balayage et le modèle de positionnement. Ce stepper dispose également d'un équipement unique à double exposition, d'un balayage de la tête de di-quad et d'un système de balayage avancé sans profondeur de focalisation. L'unité de double exposition permet le traitement simultané des faces opposées du substrat, tandis que la machine de balayage non dépendante de la profondeur du foyer réduit le risque de défaillance des couches photosensibles successives en raison d'un désalignement du DOF. Dans l'ensemble, NIKON NSR-1755 I 7 Un stepper est un outil de photolithographie avancé et fiable qui dispose de nombreuses technologies de pointe. Il offre un débit élevé, une grande précision et une répétabilité élevée pour la production en série de circuits intégrés. Sa conception avancée garantit des performances élevées et des résultats fiables pour produire une large gamme de dispositifs de circuits intégrés.