Occasion NIKON NSR 1755 i7A #9248848 à vendre en France
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ID: 9248848
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1991
Stepper, 6", parts system
System: PDP11/73
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: 6" Flat
Wafer stage screw: Ball screw
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Type 1
Flat type
Cassette (Left and right)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15/17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and chamber
Chamber model: ASAHI (S78)
Chamber size: 1500
VT286
Camera control unit
Video converter 2
VDA1401A
(2) Plates
LSA Laser tube
LC-SIG4
WGA Laser tube
X and Y Ball screw
X and Y Motor unit
AFINTF (AF68)
HEWLETT-PACKARD / AGILENT / KEYSIGHT 5517A Laser head
Z Motor unit
AF Motor unit
CT Unit
Pre 1, 2 units
Cassette plate
Vacuum box
(2) Laser power
Power supply
Fly eyes unit
(2) PLC CPU
Missing parts
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A est un pas de tranche de nouvelle génération de haute précision conçu pour répondre aux exigences des grandes lignes de production. Ses caractéristiques fournissent un débit inégalé et une fonctionnalité étanche et l'enregistrement de superposition. NIKON NSR 1755I7A est équipé d'un équipement de balayage à 9 axes à ultra haute résolution breveté NIKON pour un alignement précis des plaquettes, un alignement précis des chromes de pellicule et une précision de pas et de répétition jusqu'à 0,5 μ m avec une capacité de mesure AE. De plus, son système intégré de tranches en optique divisée offre une caractéristique unique de chevauchement du champ de vision pour aligner rapidement les expositions multiples. NSR-1755I7A est piloté par un contrôleur 7E puissant basé sur Windows, doté d'une interface conviviale et d'outils de génération de modèles polyvalents pour faciliter le fonctionnement et le contrôle des processus. L'unité est également livrée avec NIKON i-Vision Software, qui intègre des fonctions d'inspection des défauts et de contrôle de superposition. NIKON NSR 1755 I 7 A intègre une approche à un microscope, ce qui réduit le nombre de pièces mécaniques et simplifie la procédure d'alignement. Cela permet des temps d'exposition rapides, permettant à la machine de produire des images de haute qualité, même à des vitesses d'alignement élevées. D'autres caractéristiques de NSR-1755 I 7 A comprennent son outil d'alignement à masque multiple, qui garantit que plusieurs masques ajoutés au même champ peuvent être alignés avec précision ; son mode de piquage automatisé, qui permet la compensation de la page de guerre mondiale du film ; et sa métrologie de l'alignement des filtres, qui élimine les modèles non standard pour la précision de l'alignement. En outre, NIKON NSR-1755 I 7 A est très adaptable à différents environnements de processus, avec des niveaux de fluide d'immersion configurables, des configurations de chambres multiples, et une option de pressuriseur zoner optionnelle. Sa conception modulaire le rend plus facile à installer et à entretenir. Dans l'ensemble, NIKON NSR-1755I7A est conçu pour fournir un débit rapide et des images de haute précision avec enregistrement serré, précision et contrôle de superposition. Ce pas de plaquette est un choix idéal pour la fabrication de plaquettes dans les grandes lignes de production.
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