Occasion NIKON NSR 1755 i7A #9250067 à vendre en France
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ID: 9250067
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1991
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Inline + Cassette (L)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
VT286
Camera control unit
Video converter 2
VDA1401A
(2) Plates
LSA Laser tube
LC-SIG4
WGA Laser tube
X & Y Ball screws
X, Y & Z Motor units
AFINTF AF68
HP / HEWLETT-PACKARD 5517A Laser head
AF Motor unit
CT Unit
Pre 1&2 Units
Cassette plate
Vacuum box
(2) Laser power supplies
Power supply
Fly eyes unit
(2) PLC CPU
Missing parts
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A est un pas de plaquette de pointe conçu pour répondre aux exigences de la prochaine génération de fabrication de semi-conducteurs. Cette machine utilise la technologie de l'optique numérique pour produire l'imagerie haute résolution des photomasques avec contrôle serré des fonctionnalités et excellente superposition dans les technologies les plus avancées. L'équipement est configuré avec deux faisceaux d'exposition, qui peuvent traiter une gamme de substrats de 12 mm à 300 mm. Il est couplé à une étape de commande automatique de la position et de l'alignement de la plaquette. Un étage 3 axes de haute précision est associé à une commande d'inclinaison à 1 axe, assurant un contrôle répétable de tous les axes nécessaires à l'imagerie. Il est capable d'atteindre une résolution maximale de 0,25 µm, tout en maintenant la précision d'alignement à moins de 1,5µm. NIKON NSR 1755I7A est livré avec une plate-forme automatisée de contrôle des processus qui permet aux utilisateurs de contrôler le processus d'imagerie avec une intervention humaine minimale. Cette plateforme de contrôle surveille et ajuste les doses d'exposition et les paramètres de traitement tout au long d'un cycle de travail, optimisant ainsi la qualité de l'imagerie. Grâce à sa grande précision de mesure, il peut détecter des défauts mineurs sur une plaquette et arrêter le système d'imagerie de projection avant que la non-conformité ne se produise. En outre, NSR-1755I7A est livré avec un logiciel avancé d'analyse et de gestion des données, permettant aux utilisateurs d'analyser des images et de capturer des données pour une analyse plus approfondie. Cette unité d'analyse et de gestion des données permet d'analyser les défauts, les doses et d'autres paramètres de contrôle de la qualité. NSR 1755 i7A est construit avec une grande fiabilité et intègre des composants redondants pour assurer une disponibilité constante des applications de production. Il est également conçu avec un Eco-Friendly Focus, réduisant la consommation d'eau et d'énergie pour l'exploitation, créant un meilleur environnement. La machine est conçue pour un fonctionnement et un entretien sûrs afin d'assurer des performances à long terme. En résumé, NSR-1755 I 7 A est un pas de plaquette avancé et polyvalent qui est conçu pour répondre aux exigences élevées de la prochaine génération de fabrication de semi-conducteurs. Sa technologie d'optique numérique et sa plate-forme sophistiquée de contrôle des processus permettent aux utilisateurs d'obtenir des résultats d'imagerie optimaux dans les plus hautes exigences de précision.
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