Occasion NIKON NSR 1755 i7A #9250068 à vendre en France
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ID: 9250068
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1990
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (L+R)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temp: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A est un pas de plaquette équipé d'une lentille de projection haute performance pour des opérations précises et de haute précision. Cet équipement de pointe est conçu pour des nœuds de 15 nm et moins et dispose d'un fonctionnement entièrement automatisé, d'une précision de recouvrement supérieure et d'un débit jusqu'à 30 % supérieur à la moyenne de l'industrie. NIKON NSR 1755I7A offre également une large gamme de modes d'élévation, de la norme au mode de très haute précision avec une précision de niveau nanométrique. NSR-1755I7A dispose d'une nouvelle génération d'optique de projection basée sur l'optique des particules neutres. Ce procédé permet de fonctionner à 15 nm noeuds et en dessous sans augmenter l'amplification de projection. En outre, l'uniformité de l'image de projection sur l'ensemble du champ de vision est également améliorée. Avec l'ajout d'un système d'alignement automatisé basé sur le CCD, ce pas offre un alignement de plaquettes très précis, ce qui améliore la précision de recouvrement. NSR 1755I7A dispose d'un palier de 12 pouces, équipé d'un temps de défilement inégalé de 2 secondes et d'une unité de correction de l'inclinaison du substrat. Cette machine fournit un débit et un rendement maximums et est capable de fonctionner à des températures très basses de -50 ° C, ce qui réduit le risque de surexposition des motifs de masque dépendant de la température. En outre, NIKON NSR-1755 I 7 A est équipé d'un outil de contrôle de processus entièrement automatisé, permettant des opérations précises et stables sans intervention manuelle. Il dispose également d'un atout avancé d'alignement infrarouge à haute sensibilité, permettant un alignement rapide de l'exposition sans avoir besoin de motifs d'alignement optique. Avec NIKON NSR 1755 I 7 A wafer stepper, les motifs de masques complexes peuvent être projetés avec précision et uniformité, donnant une qualité d'exposition extrêmement élevée. Ceci, associé au débit élevé du modèle, au faible coût de possession et aux performances inégalées, en font une solution idéale pour la production en grand volume d'appareils électroniques de nouvelle génération.
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