Occasion NIKON NSR 1755 i7A #9279743 à vendre en France
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ID: 9279743
Taille de la plaquette: 6"
Stepper, 6"
Wafer type: Flat
Wafer loader type: Type I
Leveling system: Claw system
Arm
Main body with chamber
Monitor
RA Microscope
Reticle loader:
Mask, 5"
Arm
Reticle library: Double film
13-Slot s
Wafer stage:
Chuck, 6"
LC Mirror.
NIKON NSR 1755 i7A est un pas de balayage plein champ haut de gamme, spécialement conçu pour une utilisation sur plaquettes de 300 mm (12 pouces). Le scanner a été développé pour offrir un haut niveau de superposition et de précision CD (dimension critique), même à faibles doses. NIKON NSR 1755I7A est équipé d'un objectif de 7 pouces et dispose d'un équipement de reconnaissance des marques d'alignement à deux faces, y compris un capteur quadrilatère et un réseau de photodiodes programmables pour un alignement et un enregistrement précis. Une conception améliorée de la caméra offre un meilleur contrôle de l'aberration chromatique et une résolution supérieure. NSR-1755I7A est équipé d'un système avancé d'analyse du flux magnétique, qui fournit un haut niveau de contrôle de l'exposition et l'alignement rapide des chevauchements pour divers processus de lithographie tels que le noeud avancé et le noeud mémoire. Le wafer stepper dispose également d'une unité de configuration « bottom-up », qui supporte la focalisation maximale car il compense les instabilités optiques et mécaniques rencontrées avec l'exposition bottom-up. En outre, NIKON NSR 1755 I 7 A comprend également un correcteur d'aberration programmable, qui fournit un contrôle et une maintenance de profondeur de terrain améliorés pour une qualité d'image uniforme. Le dispositif comprend également une machine de compensation de dérapage d'horloge automatique, qui optimise le raccourcissement de bout de ligne et améliore la rugosité des bords de ligne (LER). NIKON NSR-1755I7A adopte une source d'éclairage à trois zones, ce qui aide à améliorer les performances de débit pour améliorer le débit. Le scanner soutient également l'utilisation de technologies de masque non photorésistantes, y compris Nanoimprint Lithography (NIL) et X Projection Aligners (XPA). NSR 1755 i7A est idéal pour les applications de lithographie à haut débit et à faible coût. Il intègre une marque de couleur de plaquette pour simplifier la reconnaissance de marque d'alignement, et peut être utilisé avec une variété de films semi-conducteurs avancés. Le dispositif présente une conception qui permet d'optimiser la stabilité, en fournissant des articulations conditionnées, qui minimisent les mouvements et éliminent les sources de vibrations au bord de l'étage. NSR 1755I7A est idéal pour les applications de pas de plaquettes très exigeantes. Le wafer stepper est soutenu par un plan de service complet et fiable, y compris la garantie standard NIKON sur tous les produits ainsi que le support 24/7 disponible dans le monde entier.
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