Occasion NIKON NSR 1755 i7B #293619990 à vendre en France
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NIKON NSR 1755 i7B wafer stepper est une machine de photolithographie de projection à la pointe de la technologie qui est utilisée pour fabriquer des appareils avec des tailles de fonctionnalités jusqu'à quelques nanomètres. Il s'agit d'un outil de lithographie à six champs à longueur d'onde unique qui supporte le cycle lithographique complet depuis EBR (Exposure Beam Route) jusqu'à l'alignement et la planéité du substrat pour chaque plaquette traitée. NIKON NSR-1755I7B utilise une lentille de projection avancée, un objectif de réflexion (REX) et un homogénéisateur à double anneau qui offrent des performances supérieures de distorsion à faible masque. Cet équipement est doté d'une suite de métrologie de pointe qui comprend une étape programmable, un mouvement de plaquette XYZ et une détection de focalisation, permettant de résister au développement et à l'immobilisation sur les couches critiques. Le NRK 1755 i7B prend également en charge les technologies d'imagerie innovantes telles que l'éclairage hors axe, les modèles d'alignement et l'alignement automatique sans faille. Il intègre un système interactif de commande d'exposition, l'optimisation des développeurs et le contrôle de la température des plaquettes, ce qui facilite la gestion de l'ensemble du processus. Le stepper est fiable et supporte la fabrication d'appareils de haute qualité sur des substrats épais. L'unité utilise un réseau de portes programmables sur le terrain (FPGA) pour assurer un court cycle d'exposition réticule-réticule, et sa technologie de balayage électromagnétique permet un réglage des conditions d'exposition à faible coût et contrôlé automatiquement. Sa machine de commande de moteur pas à pas de haute précision produit une dose d'exposition stable pendant le fonctionnement. L'outil de gestion des défauts à partir du champ contient un scanner laser, un moniteur de défauts et un moniteur de défauts à mi-champ. Il peut détecter des défauts d'entrefer qui peuvent causer des variations de rendement, et son moteur de traitement d'image affiche des images obtenues à partir du moniteur de défaut sur le panneau tactile. La norme NSR 1755 i7B prend également en charge l'actif capteur de la Société qui recueille des données de non-uniformité sur les plaquettes inspectées, ainsi que le logiciel DefectReview, qui effectue l'examen des défauts. Il prend également en charge le modèle AutoAlign, qui acquiert rapidement des informations de configuration tout en effectuant l'exposition de projection, permettant un ajustement rapide de l'enregistrement des plaquettes. En conclusion, NSR-1755I7B wafer stepper est une machine de photolithographie de projection fiable et à la fine pointe de la technologie qui peut fabriquer avec précision des appareils dont la taille est inférieure à quelques nanomètres. Il supporte un large éventail de technologies d'imagerie et est équipé d'une suite de métrologie de pointe, d'équipements d'exposition interactifs et d'outils d'alignement automatisés.
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