Occasion NIKON NSR 2005 EX 8A #293817930 à vendre en France
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ID: 293817930
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.45
Resolution: 450 nm
DCO: 120
Throughput (WPH): 38.
NIKON NSR 2005 EX 8A est un pas de plaquette haute performance conçu pour les procédés avancés de lithographie des semi-conducteurs. Incorporant technologie de pointe et ingénierie de précision, cet équipement est capable de produire des motifs extrêmement haute résolution sur des plaquettes de silicium avec une précision et une répétabilité inégalées. La NSR 2005 EX 8A est à la pointe de l'équipement de lithographie, offrant aux fabricants de semi-conducteurs la capacité d'atteindre les spécifications des appareils de nouvelle génération. Au cœur de NIKON NSR 2005 EX 8A se trouve son système de lentilles de projection de pointe, qui joue un rôle crucial dans la détermination de la résolution et de la précision du processus de lithographie. Cette unité se compose d'une série de lentilles de haute qualité qui sont conçues pour minimiser les aberrations optiques et assurer une qualité d'image uniforme sur toute la surface de la plaquette. La conception avancée de la lentille permet la projection précise de motifs sur la plaquette avec une résolution sous-micron, permettant la production de dispositifs semi-conducteurs complexes avec des caractéristiques nanométriques. En plus de son optique avancée, la NSR 2005 EX 8A dispose d'une machine sophistiquée d'alignement et de contrôle d'étage qui assure l'enregistrement précis de la plaquette pendant le processus d'exposition. Cet outil utilise des capteurs innovants et des mécanismes de rétroaction pour aligner avec précision le masque et la plaquette, permettant à l'étape d'atteindre des tolérances de recouvrement serrées essentielles pour les processus de lithographie multicouche. L'outil de contrôle d'étage à grande vitesse permet un déplacement et une exposition rapides des plaquettes, maximisant le débit tout en conservant une précision exceptionnelle. Le NIKON NSR 2005 EX 8A est équipé d'options d'éclairage avancées, incluant des paramètres d'ouverture numérique variable (NA) et un contrôle de cohérence variable, permettant aux utilisateurs d'optimiser le processus de lithographie pour différents types de motifs et tailles de fonctionnalités. En ajustant les paramètres NA et de cohérence, les fabricants de semi-conducteurs peuvent obtenir une résolution optimale et une profondeur de mise au point pour diverses exigences de fixation, garantissant une qualité d'image et une fidélité de motif supérieures. De plus, la NSR 2005 EX 8A est dotée d'un modèle de maniement des réticules haute performance qui permet un échange et un alignement sans faille des réticules, minimisant les temps d'arrêt et augmentant la productivité. La conception robuste de l'équipement assure un positionnement stable et précis du réticule, essentiel pour obtenir un transfert précis du motif sur la plaquette. De plus, le NIKON NSR 2005 EX 8A intègre des capacités d'imagerie et de métrologie avancées, y compris la surveillance en temps réel des paramètres d'exposition et la fidélité des motifs. Les outils de métrologie intégrés du système permettent de mesurer in situ les dimensions critiques et la précision des superpositions, ce qui permet une rétroaction immédiate et une optimisation des processus pendant la lithographie. Cette boucle de rétroaction en temps réel améliore le contrôle des processus et assure des performances cohérentes de l'appareil sur toutes les séries de production. Dans l'ensemble, la norme NSR 2005 EX 8A représente un progrès important dans la technologie de lithographie des semi-conducteurs, offrant une résolution, une précision et une productivité inégalées pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Avec ses options d'optique de pointe, de contrôle des étages de précision et d'éclairage avancé, ce pas de plaquette est idéal pour la fabrication à haut volume de circuits intégrés de nouvelle génération, de dispositifs de mémoire et d'autres produits semi-conducteurs qui exigent les plus hauts niveaux de performance et de qualité.
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