Occasion NIKON NSR 2005 i10C #293587661 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2005 i10C
ID: 293587661
Style Vintage: 1995
Stepper 1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C est un pas de plaquette révolutionnaire qui a révolutionné la production de puces. Cette étape et les fonctions du dispositif de répétition basées sur l'équipement de métrologie KLA-Tencor. Il utilise l'illuminateur à immersion conique (TII) breveté qui est l'un des réglages de contrôle de la forme, de la taille et de la position les plus précis sur le marché. La capacité de balayage en mode contact de l'étape et la sortie d'échantillons en 4 dimensions fournissent un niveau élevé de précision. NIKON NSR 2005I10C comporte deux couches de lentilles empilées verticalement, à travers lesquelles le faisceau exponentiel et descendant du TII est dirigé sur la plaquette et le réticule. Les lentilles contiennent une surface sphérique qui tourne, permettant à la lumière d'être pliée correctement pour produire une image sur la plaquette. Les lentilles sont également capables de régler leur inclinaison du faisceau lumineux, ce qui permet un balayage précis et l'imagerie de motifs sur la plaquette. Le stepper présente également une haute précision de démagnification et d'agrandissement, avec une précision de 0,1 micron pour le foyer primaire et de 0,05 micron pour le foyer secondaire. NSR-2005I10C dispose d'un système de lentilles de projection à haut rendement, ce qui signifie qu'il peut courir jusqu'à 10 étages pour un temps d'exposition de seulement 2,5 secondes. Cela signifie que la plaquette peut être exposée au motif scanné beaucoup plus rapidement qu'avec les marches traditionnelles. Il a également une gamme d'images aériennes élevée, ce qui signifie qu'une variété de motifs peuvent être produits avec précision à de multiples niveaux de détail. En outre, le stepper peut gérer une large gamme de tailles de réticules, ce qui le rend adapté à une variété d'applications différentes. NIKON NSR-2005I10C est très fiable, grâce à l'unité de métrologie fiable et à son contrôle électronique de la puissance laser et des paramètres d'exposition. Il a également la forme de faisceau automatique, la taille et le contrôle de position, ce qui assure des résultats cohérents lors de l'utilisation de ce pas. Le stepper se caractérise par de faibles exigences d'entretien, avec seulement des nettoyages occasionnels et des processus thermiques périodiques pour assurer une performance optimale. En outre, la machine TII est extrêmement économe en énergie, en maintenant les coûts énergétiques bas. En conclusion, NSR 2005I10C est un pas de plaquette révolutionnaire capable de produire avec précision des motifs complexes sur une plaquette à grande vitesse. Il est fiable et peu entretenu, et très efficace, ce qui le rend rentable pour la production de puces.
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