Occasion NIKON NSR 2005 i10C #9085273 à vendre en France
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NIKON NSR 2005 i10C wafer stepper est un outil d'exposition de haute précision utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et de photomasques. Il combine performances et résolution exceptionnelles avec des normes sans compromis pour la précision et la fiabilité. Cela garantit le plus haut degré de qualité d'image pour la large gamme de tailles de plaquettes et d'applications utilisées aujourd'hui. NIKON NSR 2005I10C dispose d'une table tournante utilisant une disposition spéciale en verre revêtu de plastique de haute endurance conçue pour obtenir une instabilité minimale de la position de l'étage. La table tournante utilise un moteur intégré et une chevauchée auto-alignante qui permet une précision aussi élevée que +/- 5 µm sur la plaquette. La plaquette peut être déplacée dans une plage de 400 mm × 400 mm et le taux de répétabilité est de 0,3 µm. La plaquette est éclairée avec une lampe halogène 1kW, une source lumineuse halogène et un lecteur modulé en largeur d'impulsion commandé par ordinateur. Cela permet d'utiliser des paramètres d'exposition contrôlables avec précision afin d'obtenir les résultats souhaités. De plus, un système de refroidissement avancé assure une température uniforme et une uniformité d'exposition optimale, ainsi qu'un débit plus élevé. NSR-2005I10C est équipé d'un dispositif d'imagerie SynchroScan, qui se compose de photodiodes linéaires avancées et de deux CCD. Ce système d'imagerie permet un large éventail de fonctionnalités et de fonctions, telles que la mesure automatique des dimensions critiques, l'alignement des étages, l'alignement TTL, le pic des motifs et l'impression multi-champs. Tout cela peut être fait avec une haute résolution et une grande précision, même lors de l'inspection des structures jusqu'à 0,4 µm ou moins. NIKON NSR-2005 I 10 C wafer stepper offre également plusieurs fonctions d'automatisation et de surveillance. Cela aide à réduire le travail manuel et à prévenir les erreurs. De plus, le stepper est conçu avec une boîte de sortie double port et une télécommande utilisant un I/F série ou Ethernet. Ceci apporte une flexibilité supplémentaire en termes de fonctionnement à distance, de collecte de données et de contrôle des différentes fonctions du stepper. Dans l'ensemble, NSR 2005 i10C offre une précision, une souplesse et une performance inégalées. Pour une qualité d'image maximale, le wafer stepper fournit une large gamme de paramètres d'exposition et de fonctions d'automatisation et de surveillance qui aident à rationaliser l'ensemble du processus de fabrication des semi-conducteurs. Par conséquent, l'étrier à plaquettes CRN 2005 I 10 C est un outil indispensable pour la fabrication de semi-conducteurs et de photomasques.
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