Occasion NIKON NSR 2005 i10C #9408135 à vendre en France
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ID: 9408135
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Stepper, 8"
Control rack
KOMATSU BCE-5051-A Chiller
Electric source: NEMA Box for CVCF
(2) NEMA Switches
Computer type: NEST3
EPROM Chamber:
Type: SENDAI S04
Body size: 1950 mm
Set temperature:
Chamber: 25°C
IATC: 25°C
LLTC: 25°C
ROM Version:
Reticle:
Loader: RL-04V7.00
Stage: RA-81V1.70
Wafer:
Stage: ST-63V3.50, XY-63V2.90
Loader: WF-80V3.70
Sensor: WA-6DV2.50
Operational panel: PA-61V2.51
Lens controller: LC-6NV2.20
HEWLETT PACKARD 5517B Laser:
Lamp power: 1.75 kW
LSA Laser: 5 mW
Fixed reticle microscope: 20 mm
Wafer type: SILICON, 8"
Wafer stage: Ball screw
Chuck type: Ring
OF Detection type: Notch, 8"
Wafer loader: Type1
Notch wafer type: 90°
Right wafer carrier table
Reticle, 6"
FIA
Reticle library type: NIKON
13-Slots
Rack type: Right
SHRINC
Does not include:
In-line
LIA
PPD / PD
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C est un pas de plaquette ultra-précis haut de gamme utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. C'est une machine avancée et hautement adaptable capable de produire des puces et d'autres composants avec une précision et une répétabilité extrêmement élevées. NIKON NSR 2005I10C dispose d'un équipement optique télécentrique automatisé et modifié avec une plate-forme de plaquettes de 200mm. Le système optique offre une excellente couverture lumineuse et la clarté, et peut être ajusté pour répondre à différentes tailles de plaquettes. Les optiques sont également corrigées chromatiquement et sont capables de produire des images de résolution nanométrique. Le i10C dispose également d'une caméra haute vitesse de 10 mégapixels (MP) et d'un objectif haute résolution pour capturer les images rapidement et avec précision. La caméra est spécialement conçue pour capturer une large gamme de fréquences, de l'éclairage haute fréquence à la lumière ultraviolette (UV), pour un maximum de contraste et de clarté lors de la prise d'image. Le stepper est capable de produire des images de haute qualité jusqu'à 5000 expositions par heure, avec une haute résolution jusqu'à 10mm par pixel. Les images sont capturées à raison de 9,6 gigaoctets par seconde et stockées dans un disque solide de 2 téraoctets. La grande vitesse et la grande capacité de stockage du i10C garantissent qu'aucune donnée n'est perdue. NSR-2005I10C dispose également d'une puissante unité d'alignement. Il utilise une technologie de correction à 5 axes, qui peut apporter des ajustements aux composants physiques et électroniques, ainsi qu'à l'optique, pour assurer l'alignement et la précision. La machine d'alignement permet un usinage et une microfabrication extrêmement précis des composants de puce. Le i10C est conçu pour un entretien facile et est capable d'autodiagnostic et d'entretien préventif. L'outil peut être connecté à un serveur de diagnostic pour la surveillance à distance. La machine dispose également d'un outil d'exploitation intuitif et convivial, permettant même aux opérateurs novices de l'utiliser efficacement et de tirer le meilleur parti de l'étape. NSR 2005 i10C est un pas de plaquette puissant, précis et fiable qui peut produire des images de qualité exceptionnelle rapidement et avec précision. Avec son optique avancée, sa caméra haute résolution et son puissant modèle d'alignement, il est idéal pour fabriquer des composants complexes et ultra-précis.
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