Occasion NIKON NSR 2005 i12D #293817940 à vendre en France
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ID: 293817940
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.5-0.63
Resolution: 350 nm
DCO: 60
MMO: 70
Throughput (WPH): 70.
NIKON NSR 2005 i12D (Metrology Stepper) est un stepper avancé conçu pour la métrologie de haute précision et la fabrication de plaquettes. Le stepper dispose d'un large éventail de fonctionnalités et de capacités qui en font un choix idéal pour les applications de recherche et de production. NSR 2005 i12D a un champ de balayage de 12 pouces, qui fournit une zone d'exposition plus grande que la plupart des autres marches disponibles. Cet amplificateur a une haute résolution, jusqu'à 0,65 microns, et est capable de traiter jusqu'à douze motifs d'image différents successivement. Il comprend un système d'alignement dynamique à faible vibration, qui assure une précision relative lors de l'exposition. NIKON NSR 2005 i12D a une conception de scène à grande vitesse qui permet un alignement de haute précision et un contrôle de mouvement fin. Il dispose également d'un système avancé d'imagerie en wafer-analogique qui permet un contrôle et une exposition de haute précision. NSR 2005 i12D offre également un processus d'exposition fiable et efficace, ce qui est important pour les applications de production. La vitesse élevée du NIKON NSR 2005 i12D combinée au faible niveau de bruit assure une réponse rapide et régulière aux corrections, de sorte que le temps d'exposition peut être optimisé et contrôlé. Pour les applications de métrologie, NSR 2005 i12D est capable de fournir la précision absolue requise pour mesurer et surveiller les paramètres de processus qui sont essentiels à un processus de fabrication réussi. Le stepper dispose également d'un moteur pas à pas et d'un interféromètre laser intégrés de haute précision, qui fournissent des mesures et des paramètres hautement reproductibles pour chaque exposition. En outre, NIKON NSR 2005 i12D dispose de fonctionnalités avancées telles qu'une plage d'exposition ultra-longue, une détection de particules de haut niveau, une détection de substrat optimisée et une interface de caméra avancée pour les inspections et les mesures. Il peut surveiller en permanence la surface du substrat pour obtenir la plus grande précision et répétabilité. La NSR 2005 i12D comprend un système intégré de traitement d'image qui permet aux utilisateurs de surveiller le processus d'exposition avec une rétroaction en temps réel. Dans l'ensemble, NIKON NSR 2005 i12D est un pas de plaquette puissant et fiable conçu pour la métrologie de haute précision et la fabrication de plaquettes. Son large éventail de caractéristiques et de capacités, combiné à sa grande vitesse, son faible bruit et sa grande précision, en font un choix idéal pour les applications de recherche et de production.
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