Occasion NIKON NSR 2005 i12D #293831217 à vendre en France
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NIKON NSR 2005 i12D est un pas de tranche de balayage qui fournit des capacités d'imagerie haute résolution avancées pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il dispose d'un équipement d'alignement automatisé avec jusqu'à huit étages intégrés pour l'exposition multiple et l'alignement au niveau des plaquettes. Le i12D dispose de systèmes d'auto-focalisation et d'auto-centrage de pointe, et sa grande profondeur de focalisation assure une excellente cohérence d'image sur un large éventail de substrats. NSR 2005 i12D a une résolution maximale de 12nm, une taille d'image plein champ de 22mm x 27mm, une taille de plaquette maximale de 8 "(200mm), une surface de balayage maximale de 24mm x 24mm et une taille de pas minimale de 5um. Le système est conçu pour une utilisation avec rayons X doux, UV moyen, et optique conventionnelle jusqu'à 10x. De plus, le stepper prend en charge une gamme de lentilles quartzaires, binaires et octales qui permettent aux utilisateurs d'optimiser la résolution d'image et de détecter de petites fonctionnalités même à des grossissements élevés. NIKON NSR 2005 i12D dispose d'une unité de contrôle complète. Il comprend une interface externe et un logiciel intégré pour contrôler et surveiller les caractéristiques et les opérations de la machine. L'utilisateur peut ajuster les opérations de maintenance du marchepied, telles que la forme et la position de la plaquette de moniteur, l'exposition, le fond et le nivellement. Les utilisateurs peuvent même personnaliser la zone de démarrage de l'analyse et réinitialiser le cycle de numérisation. Le stepper dispose également d'une manipulation robuste des plaquettes pour une stabilité et une répétabilité accrues. Le porte-plaquettes de l'outil est conçu pour sécuriser la plaquette à l'aide de plusieurs éléments piézo-électriques, et l'actif double rail sans interférence assure des surfaces de plaquettes parfaitement planes. Il est également conçu avec un modèle de réduction de la vibration qui réduit le temps de décantation et fournit un environnement de balayage sans vibration. Dans l'ensemble, NSR 2005 i12D est un équipement polyvalent conçu pour l'imagerie et la fabrication de haute précision. Ses caractéristiques avancées et ses capacités de manipulation robustes des plaquettes permettent aux utilisateurs de produire d'excellents résultats d'imagerie pour différents niveaux de production.
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