Occasion NIKON NSR 2005 i6 #9269102 à vendre en France

NIKON NSR 2005 i6
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2005 i6
ID: 9269102
Taille de la plaquette: 3"-5"
Steppers, 3"-5".
NIKON NSR 2005 i6 est un Wafer Stepper qui offre une imagerie haute résolution pour une variété d'applications. Il fournit une large gamme de paramètres d'exposition pour le traitement flexible et est conçu pour fournir un fonctionnement fiable et des rendements élevés pour une gamme de masques et de motifs de circuit. La machine est un équipement 5 axes avec un design unique permettant une visibilité de l'avant, du côté et du haut de la chambre. Il est équipé d'un système d'alignement automatisé pour assurer un alignement précis du réticule et de la plaquette pendant l'exposition. NSR 2005 i6 utilise une méthode pas à pas parfaite qui permet un placement d'image extrêmement précis des caractéristiques les plus complexes. Cette technologie permet une résolution ~ 0,5 nm avec une erreur d'enregistrement minimale, et les paramètres d'exposition peuvent être encore optimisés pour obtenir un degré de précision plus élevé. L'unité d'alignement infrarouge est également capable de fournir un alignement de superposition précis de divers motifs de circuit, et l'alignement 3D de la machine compense les erreurs d'inclinaison entre la plaquette et le réticule - permettant l'imagerie de caractéristiques extrêmement petites. NIKON NSR 2005 i6 dispose d'un outil de balayage en boucle fermée pour assurer la résolution des photomasques les plus difficiles. Cet actif permet une précision d'enregistrement efficace et minimise les impacts de défauts pendant la production. L'outil est également équipé d'un modèle intégré d'évaluation d'image pour s'assurer qu'une image de qualité est produite lors de chaque exposition. La NSR 2005 i6 utilise des gestionnaires intégrés de support et de wafer pour augmenter le débit et l'efficacité. Les poignées à air intégré offrent une manutention précise et une protection de surface optimale. L'équipement est également équipé d'une unité de résistance à faible bosse pour réduire l'adhérence des particules et optimiser l'impression des bords de motifs. Cette technologie aide à contrôler la variation interne et combinée à l'évaluation complète de l'image produit des rendements constamment élevés. NIKON NSR 2005 i6 est équipé d'une variété de fonctionnalités telles que la surveillance de la fiabilité et les sous-systèmes de soutien, tels que le four de recharge et le système de surveillance des particules, qui peuvent aider à la maintenance continue. L'outil est également équipé d'une connectivité Ethernet permettant un accès et une communication faciles avec les autres nœuds du réseau. Cela permet un suivi facile de l'état de l'outil et un soutien supplémentaire pendant l'optimisation du processus.
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