Occasion NIKON NSR 2005 i8A #9016445 à vendre en France

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Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2005 i8A
ID: 9016445
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1991
i-Line stepper, 6" Wafer stage results of last PM: Wafer holder flatness (Spec. < 2.5 μm): 1.3 μm (no leveling) Y mirror travel (Spec. < 5 μm): -0.7 μm Orthogonality (Spec. ≤ 0.96 μrad): 0.2 μrad Stepping (Spec. 3σ≤ 70 nm): 3σ X: 27 nm, 3σ Y: 27 nm Back-step (Spec. 3σ≤ 70 nm): 3σ X: 45 nm, 3σ Y: 36 nm Illumination system results of last PM: Lamp power: 447 mW/cm² Uniformity (overall ≤ 1,5 %): 1.26 % Actual vs. displayed power (≤±5 %): -3,712 % Illumination tele-centricity (Spec. ±1 μm Z < 40 nm): Xmax/min: 38/-17 nm Ymax/min: 6/-32 nm Lens results of last PM: Lens inclination (Spec. Tilt ≤±0.2 μm) UR-LL: 0.030 μm UL-LR: 0.069 μm Distortion (Spec. ≤±70 nm) X max/min: 19/-32 nm Y max/min: 47/-24 nm Chamber: Chamber front chamber temp: 23 ± 0.1 °C, 23.01 Pressure supply: 3 ± 0.1 Kg/cm², 3.1 Vac supply: > 460 mmHg, 650.00 Freeezer pressure: High pressure: 15 ± 1 Kg/cm², 15.0 Low pressure: 4.85 ± 0.65 Kg/cm², 4.40 Wafer stage: Clean and grease leadscrew X: OK, Y: OK Clean and lubricate needle bearing X: OK, Y: OK Perform stage running ca 10 min only after stage PM: OK Check Interferometer mirrorsl X: OK, Y: OK Check fiducial: OK Wafer holder flatness (no leveling): 6" < 2,5 µm, max-min mm 2.2 Orthogonality: to customer wafer ≤ 0.5 µrad, Wafer_ORT= µrad 0.3 Stepping STEP spec: 3 sigma ≤ 70 nm, stepping 3 sigma X = nm 36 3 sigma Y = 27 nm BACK spec: 3 sigma ≤ 70 nm, backstep 3 sigma X = 51 nm 3 sigma Y = 42 nm Nikon i8 body: Sr6c 5ib2 Sr lens 5ib2 Sr6b standard control rack Sr6 accessory part 1 Sr6b lia Sr6b lc 2 Sr6c iu 5ib2 Sr6c 5ib2 fe 5 Sr6c ws 8 Sr6 ceramic wh 5-8 Sr6c arl 56 Straight arm 5 Sr6c library adapter 5p 56 Sr6c wl 6 8 Sr6c wl extra carrier 68 Sr6c wa Sr6c fia Sr6c lia attachment part Sr6c reticle table 5 6 Sr6c interferometer Sr6c vacuum control Sr6c pedestal Sr6c avis Sr6c control unit Sr6c chamber s Sr6c chamber panel 5 6 Sr6 lsa measurement software ver2.2 Sr6c ra 2 4 axis cameras mechanism 5 Sr6c aircondition 1b nema Sr6 wl safety Sr6b hg trap metal mesh Sr6b rack modification us Sr6 hg lamp outlet Sr6c export tool Sr6c laser safety part usa Sr6c machine label Sr6c safety label usa Sr6c chamber label usa Sr6c/8 high reflection board attachment parts Sr 5ib2/c2 relay lens Sr6 wafer cassette positioner if Sr6c fia step 1 Sr6b/6c glass filter u-360 Sr6c extension cable protection cover Sr6c ra2 cover for 4 axis camera Sr6b hg lamp power supply ib2 Sr6c hg lamp power supply change ib5 Sr6c export mod ibm 973 Disassembled and crated 1991 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A est un pas de plaquette conçu spécifiquement pour le traitement de niveau de plaquette avec un haut débit intégré et une grande précision. L'unité est capable de loger des substrats jusqu'à 200 mm de diamètre, ce qui permet une surface plus grande que la plupart des systèmes pas à pas classiques. L'équipement d'optique de précision offre un haut degré de précision et de répétabilité, permettant une base de processus reproductibles. De plus, le contrôle de mouvement intégré et l'autofocus aident à minimiser le temps de cycle pour améliorer le débit. Le système d'alignement avancé de l'unité dispose de capacités d'alignement grossières et fines avec un haut niveau de précision et de vitesse. L'unité utilise des optiques de champ inférieures et des caméras CCD haute résolution pour détecter précisément la position exacte de chaque plaquette après alignement. De plus, les fonctions de focalisation et d'alignement peuvent être personnalisées au besoin pour répondre à des applications spécifiques au niveau du substrat. La fonction d'éclairage de la machine est hautement personnalisable avec un choix de longueurs d'onde, d'ouvertures numériques et de niveaux d'uniformité. Cette fonctionnalité est essentielle pour optimiser les résultats de lithographie et garantir les images de la plus haute qualité. De plus, l'unité intègre des capteurs laser très sensibles et une interférométrie laser pour mesurer les positions exactes de chaque plaquette, diminuant la variabilité des processus et le potentiel d'erreurs. En outre, l'unité offre une large gamme de capacités de compensation de superposition et une variété de fonctions de reconnaissance de motifs. Cela garantit que chaque plaquette est placée avec précision dans l'étage sans erreurs coûteuses ni retravaillement, ce qui permet de gagner du temps et de réduire les coûts. De plus, une installation entièrement automatisée de manutention de la charge principale est disponible pour le chargement, le déchargement et le changement de substrat sans tracas. NIKON NSR 2005I8A est équipé d'une interface de contrôle NIAS puissante et facile à utiliser qui permet un contrôle complet des processus. L'interface graphique intuitive permet une conception efficace des processus, ce qui augmente le débit et contribue à réduire les temps d'arrêt. De plus, l'unité respecte les normes UL, CE et FAC, en respectant des règlements plus stricts en matière de sécurité et d'environnement. Dans l'ensemble, NSR-2005I8A est un pas de plaquette puissant et précis conçu spécifiquement pour les processus de niveau de plaquette moyen à haut volume. L'unité dispose d'une optique de haute précision intégrée, d'un outil d'éclairage hautement personnalisable et d'une manutention automatisée de la charge principale, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats rapides, reproductibles et fiables.
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