Occasion NIKON NSR 2005 i9C #9096011 à vendre en France
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ID: 9096011
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1993
i-Line stepper, 6", 1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i9C est un équipement avancé de pas de plaquettes qui offre une vitesse, une précision et une précision impressionnantes. Ce système pas à pas est conçu pour aider ses utilisateurs à produire des images photolithographiques exigeantes sur des substrats semi-conducteurs. Pour commencer, NIKON NSR2005I9C dispose d'un module de commande de mouvement à 5 axes pour les mouvements ultra-précis selon les axes X, Y et Z, ainsi que la rotation et un inclinaison du troisième axe. Ces mouvements permettent une précision optimale et un alignement rapide du substrat. L'unité dispose également d'un dispositif de détection d'image CCD haute vitesse, fournissant un EDWS plein cadre (détection de bord et balayage de plaquettes) à haute résolution. Cela permet la reconnaissance précise des bords et l'analyse des plaquettes, tout en scannant l'ensemble du substrat à la fois pour garantir une grande précision. NSR-2005I9C utilise une variété de lentilles spéciales pour assurer un positionnement très précis du champ d'exposition. Il utilise également une machine de commande de mouvement haute résolution pour réaliser des mouvements ultra-précis sur les axes X, Y et Z, permettant un contrôle de position précis. Cet outil pas à pas est également équipé d'un mécanisme d'obturation Chuck (CMS) pour un contrôle précis de l'obturateur, éliminant toute variation d'inclinaison pouvant conduire à des distances inexactes des sources lumineuses. NIKON NSR 2005I9C est également capable de techniques avancées de stabilisation telles que la stabilisation par couche active (SLA) pour le contrôle ultra-précis du grossissement d'exposition et la fixation couche par couche (LBLF) pour le positionnement précis des limites de couche. Cet atout utilise également la technologie AMRC pour supprimer le besoin d'alignement manuel, simplifiant grandement le processus de création d'images photolithographiques exactes. NSR 2005 i9C dispose également d'un modèle de chargement multipoint, qui peut être utilisé pour charger plusieurs plaquettes à la fois, augmenter le débit et réduire les temps d'attente. En outre, il offre également des options telles que obturateur automatique de faisceau, basse pression/exposition à basse température (LLTE), et porte d'étage de chauffage (HSD), offrant une flexibilité et des performances supplémentaires. Dans l'ensemble, NSR2005I9C wafer stepper equipment est un appareil impressionnant qui est capable de fournir des images photolithographiques extrêmement précises, précises et rapides. Son module de contrôle de mouvement à 5 axes et son système de contrôle de mouvement à haute résolution assurent des grossissements d'exposition ultra précis, le positionnement de la couche et la commande d'obturateur, tandis que sa technologie AMRC, son unité de chargement multipoint et d'autres options offrent une plus grande flexibilité et améliorent le débit.
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