Occasion NIKON NSR 2005 i9C #9096013 à vendre en France
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ID: 9096013
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1993
i-Line stepper, 6", 1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i9C est un pas de plaquette conçu pour des applications de haute précision en photolithographie. Le pas de plaquette utilise une technologie de pointe pour créer avec précision des images à haute résolution sur des plaquettes ou des substrats. NIKON NSR2005I9C est capable d'effectuer plusieurs fonctions en une seule prise de vue, y compris l'exposition, l'alignement et la cuisson. Grâce à sa capacité d'imagerie à grande vitesse et à ses têtes d'imagerie brevetées « sous vide », le i9C peut produire avec précision des motifs de résolution de sous-microns de manière précise et répétable. Le i9C est composé de trois composants principaux : la tête d'imagerie, l'équipement d'éclairage et le mécanisme mobile de distribution du faisceau. La tête d'imagerie contient un ensemble de lentilles réglables pour fournir une résolution submicronique précise sur un large champ de vision. Le système d'éclairage contient des lentilles, des filtres dichroïques et d'autres optiques pour fournir un éclairage uniforme et à faible distorsion à l'échantillon. Enfin, le mécanisme de délivrance du faisceau utilise des commandes précises du moteur pour déplacer rapidement la tête d'imagerie d'une région à l'autre de la plaquette. L'unité est capable de fournir une résolution submicronique sur une surface de 500mm sur 10mm. La taille de la plaquette peut être facilement modifiée pour répondre à diverses exigences de processus, limitée seulement par la taille de la tête d'imagerie. Le stepper est conçu pour fonctionner avec différents niveaux de masque de résistance, et peut accueillir une large gamme de longueurs d'onde (193nm à 248nm). De plus, le i9C est capable de modeler des structures tridimensionnelles avec un mécanisme de dépôt sélectif. NSR-2005I9C offre de nombreuses options et fonctionnalités qui réduisent la complexité et augmentent les performances. Unique à cet étage de plaquettes est une machine de traitement d'image interne, ce qui réduit considérablement le temps de réglage/réglage. L'outil avancé de contrôle de mouvement, en combinaison avec un détecteur de zone d'imagerie haute vitesse, assure un enregistrement précis et des résultats CD reproductibles. Un système optionnel de pince à vide automatise le placement, le centrage et l'alignement, permettant un traitement plus rapide et un meilleur débit. NSR2005I9C est un pas de plaquette fiable et très précis. Sa capacité à produire avec précision des motifs de résolution de sous-microns avec une grande uniformité, répétabilité et débit en fait une solution idéale pour la production de plaquettes. Avec son interface intuitive et ses multiples fonctionnalités avancées, il peut rendre les tâches de lithographie complexes plus simples, plus rapides et plus précises.
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