Occasion NIKON NSR 2005 i9C #9195895 à vendre en France
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NIKON NSR 2005 i9C est un pas de plaquette utilisé pour la fabrication de semi-conducteurs et les applications de lithographie ultraviolette extrême. C'est un équipement de pointe qui offre un débit, une précision et une fiabilité élevées. L'étage est constitué d'un étage, d'une tête optique et d'un système de commande intégré. L'étage est composé de trois mouvements linéaires (X, Y et Z directions) et est équipé d'un micromètre intégré pour le contrôle précis et précis du mouvement. L'étage contient également un certain nombre de capteurs pour surveiller la position des plaquettes et les opérations de charge/déchargement. La tête optique est constituée d'une unité d'imagerie haute résolution et de sources lumineuses laser ultraviolets de grande puissance. La machine d'imagerie se compose d'une lentille principale, d'une lentille d'imagerie, d'un outil autofocus, d'un actif de ciblage de scène et d'un dispositif d'alignement de faisceau. Les sources d'éclairage laser UV fournissent un faisceau de lumière UV très uniforme et intense qui assure une imagerie lithographique précise. Le modèle de contrôle intégré comprend un certain nombre de contrôleurs numériques sophistiqués, dont un contrôleur basé sur PC, un équipement d'évaluation basé sur PC et un contrôleur pas à pas. Ensemble, ces systèmes de contrôle sont utilisés pour automatiser et contrôler les différentes étapes du processus lithographique, y compris le mouvement du stade, l'exposition, le développement, la gravure et le placage. Finalement, NIKON NSR2005I9C est un pas de plaquette avancé et fiable qui fournit un haut débit, précision et fiabilité à long terme pour les applications de lithographie à semi-conducteurs et EUV.
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