Occasion NIKON NSR 2205 EX12B #9251032 à vendre en France
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ID: 9251032
Stepper
Resolution: 280 nm
TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 Coater / Developer system included
Inline left
Wafer specification: Φ8 Orientation flat
Wafer chuck: NIKON Genuine holder
Reticle specification: NIKON Cassette, 6"
PPD
CYMER ELS-5410 Laser.
NIKON NSR 2205 EX12B wafer stepper est un outil avancé pour la lithographie semi-conductrice. Cet outil est réputé pour sa grande précision et ses performances d'imagerie fiables. C'est une machine très fiable idéale pour la production à grande échelle dans l'industrie des semi-conducteurs qui nécessite des résultats rapides mais reproductibles élevés. Il se compose de deux composantes ; l'unité principale qui abrite l'optique et une colonne optique échangeable. L'unité principale possède un certain nombre de caractéristiques haut de gamme telles qu'une plage de température ambiante de 16-30C avec une plage d'humidité de 15 à 80 %. L'armoire dispose également d'un nettoyage automatique avec un équipement de purification de flux laminaire motorisé intégré et un système de refroidissement. De plus, l'unité principale a une dimension de 804x1110x1579mm et pèse environ 990 kg. La colonne optique échangeable dispose d'un zoom de puissance et offre une imagerie haute résolution, ce qui en fait un choix idéal pour les fabrications avancées de puces. Il utilise une technologie de spectromètre de masse multiplicateur d'électrons qui permet à l'utilisateur de mesurer les doses avec précision. La colonne est équipée d'une machine à lentilles à champ solide qui produit des images avec une homogénéité supérieure, ce qui améliore l'uniformité d'exposition. La colonne comprend également un outil d'isolation des vibrations pour réduire les interférences de vibrations. En outre, NIKON NSR-2205EX12B offre une grande variété de capacités d'alignement telles qu'un large champ d'imagerie et un atout d'alignement automatique des lentilles. Il possède également des capacités d'imagerie sophistiquées telles que des temps d'exposition variables, une résolution d'exposition variable, une vitesse d'exposition variable et une dose d'exposition variable. La source lumineuse d'exposition peut être choisie à partir d'un laser à bande étroite HE ou Xe excimer. En conclusion, NSR-2205 EX12B est un excellent choix pour les fabrications avancées de puces nécessitant des résultats précis, haute répétabilité et fiables. Avec ses caractéristiques haut de gamme, ses capacités d'exposition et ses systèmes d'alignement avancés, il est parfaitement adapté aux applications de production à grande échelle.
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