Occasion NIKON NSR 2205 EX14C #293603626 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2205 EX14C
ID: 293603626
Stepper.
NIKON NSR 2205 EX14C est un équipement de photolithographie ultraviolet avancé (UV) Wafer Stepper conçu pour la production de circuits intégrés (IC) utilisés dans divers procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce système utilise une combinaison d'optique avancée et de technologies de contrôle de mouvement précises pour projeter avec précision des images sur les plaquettes. La résolution et la précision de l'appareil assurent un alignement précis des caractéristiques imprimées sur les plaquettes. NIKON NSR-2205EX14C est une machine pas à pas polyvalente et haut de gamme qui est parfaite pour une large gamme d'applications. NSR-2205 EX14C Wafer Stepper est équipé d'un composant d'outil, l'optique de projection de réduction en série NSR-S307E, qui comprend un actif optique de réduction 4x corrigé optiquement. Ceci fournit une excellente qualité d'image du gros plan à l'infini, avec un rapport d'aspect d'image de 1:1. Le modèle optique contient une paire de lentilles symétriques en rotation, une pour l'objet et une pour l'image. Les lentilles sont corrigées optiquement asphères qui réduisent les aberrations fournissant une image de haute qualité. Il utilise NIKON Electronics Housing Systems (NEHS) qui offre une approche unique pour la mise en place et le contrôle de l'équipement pas à pas. Le NEHS fournit un cadre rigide pour les expositions de plaquettes semi-conductrices, réduit la page de guerre de la plaquette, et permet une ventilation sous vide précise et l'entretien de la surface de la plaquette. Le système dispose également de la dernière unité NIKON Image Monitor Unit (IMS), qui maintient une image précisément alignée sur la surface de la plaquette, indépendamment du déplacement des lentilles et des éléments de la machine, de la température et de la composition du gaz. Le NSR 2205 EX 14 C est alimenté par un contrôleur d'outils de haute précision qui assure une grande précision de positionnement. Cet atout double processeur central est capable de traiter jusqu'à 1000 commandes électro-optiques par seconde, offrant une réactivité et une précision extrêmes. Le stepper est également équipé de NIKON Scaling Drive Model (SDS), qui permet la précision d'imagerie de l'équipement pour correspondre aux spécifications de conception pour une variété de processus de lithographie, y compris l'application de largeur de ligne ultrafine. NIKON NSR 2205 EX 14C a la capacité de traiter des substrats d'un diamètre allant jusqu'à 200 mm. Il est conçu avec un bloc froid refroidi à l'azote et une source d'exposition à LED chauffée qui fonctionne dans la gamme de longueurs d'onde de 365nm à 435nm. Son DLT (Dual Lithography Table) comporte deux tables et est capable d'effectuer un balayage d'échange de plaquettes à raison de 30 plaquettes par heure. En bref, NIKON NSR-2205 EX 14 C est un système avancé de Wafer Stepper UV avec une unité optique de pointe, des systèmes de contrôle les plus récents et des capacités de traitement de haute précision. C'est un excellent choix pour les applications de lithographie nécessitant des largeurs de lignes ultrafines, offrant une qualité d'image et une précision supérieures.
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