Occasion NIKON NSR 2205 EX14C #9192103 à vendre en France

NIKON NSR 2205 EX14C
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2205 EX14C
ID: 9192103
Stepper.
NIKON NSR 2205 EX14C est un aligneur de projection pas à pas de 5 pouces qui peut être utilisé pour une grande variété d'applications de microfabrication. Il est conçu pour modeler avec précision et de façon répétée les caractéristiques des plaquettes semi-conductrices, photomasques et microdispositions. NIKON NSR-2205EX14C a une zone de projection de 5 pouces et peut supporter jusqu'à 6 "wafers. Il peut fonctionner à une variété de grossissements et fournir des résolutions jusqu'à 0,25 microns. La machine est capable de superposer jusqu'à quatre canaux d'imagerie différents afin d'augmenter le débit et la flexibilité. Il présente également une souplesse d'encoche lui permettant de loger des irrégularités de traitement dans une plaquette. NSR-2205 EX14C dispose d'un équipement de découpe de faisceau qui permet d'assurer un alignement précis. Il comporte également un revêtement antireflet pour réduire les distorsions. Ce système utilise une unité d'interférométrie laser (LIS) à haute résolution et longue longueur d'onde pour mesurer la position des substrats à une précision de 0,1 micron. La machine comprend un étage piloté par des actionneurs piézo, qui fournit un haut niveau de précision et de répétabilité. Il comprend également un outil d'asservissement gazeux Rastek-G qui permet des réglages de positionnement fin de la scène sans gigue. Le NSR 2205 EX14C utilise un moteur linéaire pour accélérer et décélérer rapidement, ainsi que pour la détection de position très précise. Il peut traiter jusqu'à 10 000 plaquettes par heure avec un débit de 150 mm/sec. L'actif comprend notre modèle propriétaire NIKON Smart Corneal Alignment (SCA) qui peut grandement réduire les temps de mise en place. En plus des plaquettes de fixation, NIKON NSR 2205 EX 14C peut être utilisé pour diverses applications de microfabrication de haute précision telles que le vieillissement, le dépôt et les procédés de gravure. Il dispose également d'une variété de modes Wafer Easy Scanning (WES), qui permettent l'inspection automatisée des plaquettes sans contact et la surveillance et la classification automatisées des défauts. Au total, NIKON NSR-2205 EX14C est un aligneur de projection pas à pas très précis et fiable pour toutes sortes d'applications de microfabrication. Polyvalent et puissant, il est conçu pour répondre aux environnements de production les plus exigeants.
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