Occasion NIKON NSR 2205 EX14C #9375190 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2205 EX14C
ID: 9375190
Stepper CYMER ELS 5400 Laser Missing parts: Wafer loader unit: Wafer loader: Type III A-406 WLSP Waiting table plate P/N: 4S015-151 Reticle loader unit A-100 PW-NA, P/N: 4S001-062 A-105 PPD-DRV, P/N: 4S007-608 A-800 PW-NA OPD Unit Stage unit: Wafer holder CT Pin Power AMP Unit P/N: A-20P PW-NB, P/N: 4S001-063 A-216 ZTFP, P/N: 4S069-668 A-217 ZTDRV8, P/N: 4S018-137 A-220 EPFP, P/N: 4S069-668 A-224 ADDRV1, P/N: 4S018-317 ADE(Z) Power AMP unit Alignment Unit NC-PRE2 Unit Cable A-510 NK386SX4, P/N: 4S015-150 Lens control unit Mouse Inverter CATC Filter guide CATC Filter.
NIKON NSR 2205 EX14C est un pas de plaquette de haute précision et de grand volume. Le stepper combine une automatisation avancée avec des consommations améliorées à faible puissance et un nouveau design de scène pour une productivité supérieure. Il a une gamme acceptable de tailles de plaquettes de 8 pouces à 12 pouces de diamètre dans les configurations standard du trou central et de la tige. Sa caractéristique unique est le High-Level Automation Equipment (HLAS) qui fonctionne avec un étage de retournement amélioré, plaque thermique intégrée et optique intégrée. Ceci garantit une précision optimale pour des applications de haut volume et de haute précision. Le stepper a un champ de balayage solide de roche très stable. Il dispose d'un moteur rapide et à haute résolution qui adopte l'échange d'informations à grande vitesse avec son système d'alignement de robot (RAS) pour améliorer la stabilité de fonctionnement. Il est également équipé d'une unité de correction maximale des ondulations (MRCS) qui permet un mouvement continu des plaquettes pour corriger la déformation des plaquettes tout en restant aligné. Cela facilite un recouvrement couche à couche très précis sans nécessiter des ajustements de focalisation fréquents. Le pas dispose d'une machine de contrôle de mouvement (MCS) améliorée et d'un outil d'alignement intégré (ALS) pour un positionnement précis, ainsi que d'une précision maximale d'alignement non dimensionnelle de 0,25 micromètres. Il a également amélioré les résultats avec de longs temps d'exposition qui permettent une plus grande profondeur de focalisation. En conséquence, NIKON a atteint la plus haute précision d'indexation de l'industrie et un fonctionnement stable sur plusieurs jours. Le stepper dispose également d'un actif d'illumination haute densité (HIS) et d'une courbe désactivable d'illumination haute puissance (IC) pour améliorer l'uniformité d'illumination et réduire les niveaux de particules. Il dispose également de NIKON Exclusive Autoagitation & Etching (FX) qui est conçu pour l'agitation automatique efficace des fluides corrosifs. Cela aide le modèle à améliorer les rendements et à réduire les coûts d'exploitation sans nécessiter d'intervention humaine supplémentaire. NIKON NSR-2205EX14C dispose également d'un équipement avancé de contrôle des processus qui surveille les conditions des plaquettes pour garantir un rendement de fabrication optimal et une répétabilité à long terme. Le système est équipé de méthodes paramétriques et statistiques de contrôle des processus pour fournir des résultats très fiables. Enfin, il dispose également d'un mécanisme de refroidissement pour assurer une répartition thermique uniforme et protéger la machine pendant de longues périodes de fonctionnement continu.
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