Occasion NIKON NSR 2205 EX14C #9379629 à vendre en France
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ID: 9379629
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Stepper, 8"
1996 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C est un Wafer Stepper de pointe conçu pour permettre une exposition précise et uniforme des plaquettes. Il est doté d'une résolution de 14 pouces, de 5 microns, d'une optique d'immersion de classe supérieure et d'une lentille d'immersion brevetée qui permet un contrôle extrême et une précision dans la fixation ultra fine. NIKON NSR-2205EX14C est conçu pour une utilisation en salle blanche et est optimisé pour traiter des tailles de plaquettes allant jusqu'à 300mm. Il est capable d'atteindre un débit élevé avec une stabilité maximale du processus et une variation de la tranche à la tranche. Il dispose d'une précision d'alignement de 5nm avec répétabilité de 0.1nm et offre une exposition de prise de vue de 10nm structures. NSR-2205 EX14C est alimenté par un équipement optique multi-faisceaux exclusif à NIKON conçu pour permettre des expositions bidimensionnelles avec un seul balayage. Ce système permet également une imagerie à faible aberration et une transmission élevée pour des régions transparentes. La cabine utilise un mécanisme innovant à bras unique à 6 degrés de liberté qui met en œuvre un mécanisme de balayage de filtre simple ARM pour améliorer la stabilité et la précision de l'image. Le wafer stepper dispose également d'une carte d'entrée/sortie modulaire qui prend en charge la capture d'image multi-processus et le traitement d'image parallèle. Cette unité améliore le débit et introduit la cohérence de la production de lot à lot. Le stepper utilise une caméra CCD haute résolution avancée avec un temps d'exposition limité, ce qui permet un traitement plus rapide sans compromettre la qualité. NSR 2205 EX14C comprend également des opérations contrôlées par recette pour les configurations de style recette et permet la gestion de la mémoire pour plusieurs recettes. Il comprend également une machine d'inspection pour détecter et éliminer les conditions d'exposition défectueuses et les paramètres d'exposition. Le pas de plaquette supporte l'utilisation de scanners d'étage optionnels, qui peuvent permettre une exposition complète dans une opération pour des structures complexes. Enfin, une variété d'accessoires et de logiciels sont disponibles pour utiliser le pas de plaquette au maximum. Le CRN 2205 EX 14C est un outil puissant capable d'obtenir un traitement précis et uniforme. C'est un choix idéal pour la production de motifs ultra-fins et de zones transparentes sur les plaquettes et autres substrats.
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