Occasion NIKON NSR 2205 i11D #293607244 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2205 i11D
ID: 293607244
Stepper Lamp illumination: Average power: 560.407 mW/cm² Uniformity: 1.026% X-Y Axis: Maximum: 0.039, 0.028 Minimum: -0.039, -0.053 Lens distortion within ±0.050 µm Field inclination: Max-min within 0.230 µm Curvature within -0.029 µm UL-LR, UR-LL within 0.012, 0.092 µm Stepping accuracy: Stepping: 3δ≤45 nm - X:18, Y:42 Backlash: 3δ≤45 nm - X:28, Y:42 LSA-EGA 3δ+|X|≤70 nm Mean-X/3δ: 23 Mean-Y/3δ: 12 3δ+|X|: 14 3δ+|Y|: 32 FIA-EGA 3δ+|X|≤70 nm Mean-X/3δ: 8 Mean-Y/3δ: 26 3δ+|X|: 21 3δ+|Y|: 20.
NIKON NSR 2205 i11D est un pas de plaquette haut de gamme fabriqué par NIKON. C'est une machine d'alignement de précision entièrement automatisée, permettant un contrôle exact de l'exposition d'une plaquette. Le pas de plaquette est équipé d'un équipement optique optimisé et d'un système de contrôle de mouvement, ce qui en fait un outil efficace pour le traitement de l'exposition fine et haute précision. L'unité optique précise est conçue pour réduire l'écart des paramètres d'exposition et assurer une surface uniformément exposée qui optimise à la fois le débit et les rendements. Le dispositif fonctionne en projetant un masque sur une plaquette et en utilisant des paramètres d'exposition précis pour créer un motif sur la surface de la plaquette. Le motif projeté est ensuite appliqué sur la plaquette avec un moteur pas à pas qui déplace la zone de projection. NIKON NSR-2205I11D comprend un servomoteur de haute précision couplé à un codeur qui fournit une rétroaction de position précise. Cette combinaison permet des réglages d'exposition précis et des niveaux de précision optimisés. Le pas de plaquette est capable de manipuler un maximum de plaquettes de 8 pouces avec une précision de motif maximale de 1,9 um sur un angle d'exposition de 1 °. NSR 2205I11D est conçu pour réduire les temps d'arrêt et les coûts d'entretien grâce à sa longue durée de vie, sa conception fiable et ses courts temps d'entretien. Il dispose également d'un pré-alignement automatique qui assure un alignement précis, même lorsque le pas n'est pas calibré. L'appareil est équipé d'une interface conviviale et d'une gamme complète d'options d'entrée et de sortie qui permettent un contrôle et une surveillance faciles. La machine peut également être connectée à d'autres machines NIKON via une connexion Ethernet. NSR 2205 I11 D est un pas de plaquette complet qui fournit un traitement d'exposition précis et fiable et des débits améliorés. Sa machine optique optimisée et son outil de contrôle de mouvement permettent une précision et une fiabilité optimales, tandis que son moteur et son codeur de haute précision permettent un alignement précis. Conçu pour une fiabilité à long terme et de faibles coûts d'entretien, NSR 2205 i11D est le pas parfait pour les applications de processus d'exposition exigeantes.
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